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PDMS上溅射金属 已有2人参与
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| 想在PDMS（道康宁184）上溅射金属。1.spin-coating的方式在硅片上涂一层PDMS；2.采用AZ4620进行光刻；3.溅射200nm的Au。上述过程已经完成，现在要剥离掉AZ光刻胶，请问采用什么方式比较合适？传统的丙酮会不会将PDMS也剥离掉呢？ |
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3楼2016-11-28 12:09:42
2楼2016-11-26 11:17:35
yswyx 
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
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4楼2016-11-29 11:57:07
5楼2016-12-01 20:48:10
