| 查看: 2600 | 回复: 5 | ||
xieruifang新虫 (初入文坛)
|
[求助]
PDMS牺牲层，PI基底上溅射金属薄膜开裂 已有3人参与
|
|
本人，采用PDMS（道康宁184）为牺牲剥离层，以硅片为基底，在硅片上先甩一层PDMS，然后做氧离子活化，再甩PI，阶梯升温固化之后，溅射300-600nm的Al/Cr，或Cr/Al/Cr，都会出现PI与金属同时开裂，表面多处裂纹，溅射功率约为26W，溅射之前烘烤200℃ 3min，当温度降到150℃后开始溅射，最初溅射功率较大，溅射好后，金属表面在高倍显微镜下观察，全部是小裂纹，后面减小功率后，刚溅射好的金属膜未见裂纹，但是在光刻显影，及腐蚀过程中，出现很多裂纹，金属和PI同时出现裂纹。求高人指教，如何在PDMS及PI上溅射导电金属（铝，铜，银等）而不开裂，厚度为0.3-1μm，溅射之前PI经过250℃烘烤，完全亚胺化。欢迎相关人员与我联系交流。 [ Last edited by 月牙儿的微笑 on 2015-10-22 at 13:56 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
材料化学专业sci转让 qq 1946569001
已经有0人回复
-
材料化学专业sci转让 qq 1946569001
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有64人回复
LZL123456
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3860
- 散金: 43
- 帖子: 122
- 在线: 288.2小时
- 虫号: 2669999
- 注册: 2013-09-21
- 性别: GG
- 专业: 金属基复合材料
2楼2016-01-21 22:13:38
3楼2016-07-15 09:52:43
4楼2016-12-15 10:56:12
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4776.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2508
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
5楼2019-05-27 19:15:14
luoxiaobin2002
金虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1395.4
- 散金: 6
- 红花: 2
- 帖子: 422
- 在线: 21.7小时
- 虫号: 244562
- 注册: 2006-04-17
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
6楼2019-05-30 01:02:25
40