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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » PDMS牺牲层，PI基底上溅射金属薄膜开裂
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xieruifang

新虫 (初入文坛)

[求助] PDMS牺牲层，PI基底上溅射金属薄膜开裂 已有3人参与

本人，采用PDMS（道康宁184）为牺牲剥离层，以硅片为基底，在硅片上先甩一层PDMS，然后做氧离子活化，再甩PI，阶梯升温固化之后，溅射300-600nm的Al/Cr，或Cr/Al/Cr，都会出现PI与金属同时开裂，表面多处裂纹，溅射功率约为26W，溅射之前烘烤200℃ 3min，当温度降到150℃后开始溅射，最初溅射功率较大，溅射好后，金属表面在高倍显微镜下观察，全部是小裂纹，后面减小功率后，刚溅射好的金属膜未见裂纹，但是在光刻显影，及腐蚀过程中，出现很多裂纹，金属和PI同时出现裂纹。求高人指教，如何在PDMS及PI上溅射导电金属（铝，铜，银等）而不开裂，厚度为0.3-1μm，溅射之前PI经过250℃烘烤，完全亚胺化。欢迎相关人员与我联系交流。

[ Last edited by 月牙儿的微笑 on 2015-10-22 at 13:56 ]
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1楼 2015-07-06 13:05:10
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记不住密码

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
1楼: Originally posted by xieruifang at 2015-07-06 13:05:10
本人，采用PDMS（道康宁184）为牺牲剥离层，以硅片为基底，在硅片上先甩一层PDMS，然后做氧离子活化，再甩PI，阶梯升温固化之后，溅射300-600nm的Al/Cr，或Cr/Al/Cr，都会出现PI与金属同时开裂，表面多处裂纹，溅射 ...

楼主你的问题解决了吗，最近我也在做这个，不知道怎么解决

发自小木虫IOS客户端
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3楼2016-07-15 09:52:43
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LZL123456

银虫 (小有名气)
楼主，不知你问体解决了吗？现在我也是在PDMS上镀Ti金属薄膜，我想问一下，PDMS溅射一定要通过氧等离子处理吗？Ar离子处理行吗？
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2楼2016-01-21 22:13:38
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siyecao2209

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

楼主问题解决了吗，现在也遇到同样问题，不知该如何解决
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4楼2016-12-15 10:56:12
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

这个应该是PDMS本身应力引起的褶皱吧，我记得有篇nature关于这个方面的介绍
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5楼2019-05-27 19:15:14
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