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siyecao2209

新虫 (初入文坛)

[求助] PDMS上溅射金属 已有2人参与

想在PDMS(道康宁184)上溅射金属。1.spin-coating的方式在硅片上涂一层PDMS;2.采用AZ4620进行光刻;3.溅射200nm的Au。上述过程已经完成,现在要剥离掉AZ光刻胶,请问采用什么方式比较合适?传统的丙酮会不会将PDMS也剥离掉呢?
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siyecao2209

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by ForewarLin at 2016-11-28 12:09:42
Ragers研究组的文章有类似的工艺

你说的是 JA Rogers?
5楼2016-12-01 20:48:10
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科了个研

铁虫 (小有名气)

不会的,看着金掉了就拿出来,不要泡太长时间

发自小木虫IOS客户端
2楼2016-11-26 11:17:35
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ForewarLin

新虫 (初入文坛)

Ragers研究组的文章有类似的工艺

发自小木虫Android客户端
3楼2016-11-28 12:09:42
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖


siyecao2209: 金币+1, 有帮助 2016-12-13 20:50:19
为啥用4620呢?好歹用5214e啊。4620上面,你的金属肯定爬坡了,想把4620剥掉就难了。
4楼2016-11-29 11:57:07
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