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如何生长2nm左右的金属膜？
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请问熟悉半导体工艺方面的大神，用什么设备能长1-2nm的金属膜（金膜 或者银膜），听说磁控溅射可以，国内哪里可以做，精度度如何？同时这么薄的膜用什么测试仪器能够较为准确的测试？ 发自小木虫Android客户端 |
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 薄膜制备与特性 |
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李小华
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最近在做一台厚度5-20纳米的磁场辅助溅射设备，理论上讲应该可以，实际操作有困难。主要思路，采用磁场辅助的溅射沉积（不是真正的磁控溅射），外加掩膜控制溅射区域。 发自小木虫Android客户端 |
10楼2016-11-03 07:14:35
