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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 如何生长2nm左右的金属膜？
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Friend007

银虫 (知名作家)
★
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引用回帖:
20楼: Originally posted by 欧姆007 at 2016-11-04 16:42:59
你好，能解释一下磁场外的辅助沉积这种方法嘛，本人也是做磁控溅射射的
...

就是加一个不是闭合的磁场

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21楼2016-11-04 18:23:18
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下一站，守候
ALD

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22楼2016-11-06 10:57:53
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 未成曲_调721 at 2016-11-02 12:15:13
你好，我也有需要想在硅片上镀一层金膜，厚度30nm,请问磁控溅射可以做吗？

可以的

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23楼2016-11-17 14:13:53
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lingling8326

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
2nm做出来应该是岛状分布的纳米颗粒，不能成膜。我们有磁控溅射镀膜设备，电子束镀膜设备和热蒸镀设备。

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24楼2016-11-23 23:36:05
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
MBE是精确度最好的了，
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25楼2016-11-24 08:39:03
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