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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 如何生长2nm左右的金属膜？
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新虫 (初入文坛)
★
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磁控镀膜应该是可以的，具体可以直接网上找实验室问问老师
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11楼2016-11-03 08:20:56
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babamy

新虫 (初入文坛)
有金属ALD的。
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babamy@gmail.com
12楼2016-11-03 22:56:52
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张杨翠

铁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
2nm不成膜的，厚度是椭偏仪好像。

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13楼2016-11-04 06:12:56
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xiaoyueriyue

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
考虑用电子束蒸发或者热蒸镀做，磁控溅射做这么薄的比较困难。

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14楼2016-11-04 09:16:34
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perry_ping

新虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 未成曲_调721 at 2016-11-02 12:15:13
你好，我也有需要想在硅片上镀一层金膜，厚度30nm,请问磁控溅射可以做吗？

可以做

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15楼2016-11-04 09:32:17
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张三的歌

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
磁控溅射做这么薄的估计有点难，而且未必能形成连续膜
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我愿化生石桥，受五百年风吹，五百年日晒，五百年雨淋，只愿你从桥上走过
16楼2016-11-04 10:58:40
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李小华

铁杆木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空蒸镀呀，我几乎隔三差五就做。

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17楼2016-11-04 13:30:57
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李小华

铁杆木虫 (知名作家)
真空蒸镀首选

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18楼2016-11-04 13:31:20
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嘎啦小风

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
19楼2016-11-04 15:02:40
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欧姆007

金虫 (小有名气)
★
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引用回帖:
10楼: Originally posted by Friend007 at 2016-11-03 07:14:35
最近在做一台厚度5-20纳米的磁场辅助溅射设备，理论上讲应该可以，实际操作有困难。主要思路，采用磁场辅助的溅射沉积（不是真正的磁控溅射），外加掩膜控制溅射区域。
...

你好，能解释一下磁场外的辅助沉积这种方法嘛，本人也是做磁控溅射射的

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20楼2016-11-04 16:42:59
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