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新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
磁控镀膜应该是可以的,具体可以直接网上找实验室问问老师
11楼2016-11-03 08:20:56
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babamy

新虫 (初入文坛)

有金属ALD的。
babamy@gmail.com
12楼2016-11-03 22:56:52
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张杨翠

铁虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
2nm不成膜的,厚度是椭偏仪好像。

发自小木虫Android客户端
13楼2016-11-04 06:12:56
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xiaoyueriyue

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
考虑用电子束蒸发或者热蒸镀做,磁控溅射做这么薄的比较困难。

发自小木虫Android客户端
14楼2016-11-04 09:16:34
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perry_ping

新虫 (职业作家)


引用回帖:
7楼: Originally posted by 未成曲_调721 at 2016-11-02 12:15:13
你好,我也有需要想在硅片上镀一层金膜,厚度30nm,请问磁控溅射可以做吗?

可以做

发自小木虫IOS客户端
15楼2016-11-04 09:32:17
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张三的歌

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
磁控溅射做这么薄的估计有点难,而且未必能形成连续膜
我愿化生石桥,受五百年风吹,五百年日晒,五百年雨淋,只愿你从桥上走过
16楼2016-11-04 10:58:40
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李小华

铁杆木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
真空蒸镀呀,我几乎隔三差五就做。

发自小木虫IOS客户端
17楼2016-11-04 13:30:57
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李小华

铁杆木虫 (知名作家)

18楼2016-11-04 13:31:20
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嘎啦小风

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

19楼2016-11-04 15:02:40
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欧姆007

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by Friend007 at 2016-11-03 07:14:35
最近在做一台厚度5-20纳米的磁场辅助溅射设备,理论上讲应该可以,实际操作有困难。主要思路,采用磁场辅助的溅射沉积(不是真正的磁控溅射),外加掩膜控制溅射区域。
...

你好,能解释一下磁场外的辅助沉积这种方法嘛,本人也是做磁控溅射射的

发自小木虫IOS客户端
20楼2016-11-04 16:42:59
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