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如何生长2nm左右的金属膜？
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请问熟悉半导体工艺方面的大神，用什么设备能长1-2nm的金属膜（金膜 或者银膜），听说磁控溅射可以，国内哪里可以做，精度度如何？同时这么薄的膜用什么测试仪器能够较为准确的测试？ 发自小木虫Android客户端 |
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19楼2016-11-04 15:02:40
kongkong俗
新虫 (小有名气)
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2楼2016-11-02 11:41:00
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4楼2016-11-02 12:04:15