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王倩113251

新虫 (小有名气)

[交流] 如何生长2nm左右的金属膜?

请问熟悉半导体工艺方面的大神,用什么设备能长1-2nm的金属膜(金膜 或者银膜),听说磁控溅射可以,国内哪里可以做,精度度如何?同时这么薄的膜用什么测试仪器能够较为准确的测试?

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未成曲_调721

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你好,我也有需要想在硅片上镀一层金膜,厚度30nm,请问磁控溅射可以做吗?
7楼2016-11-02 12:15:13
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kongkong俗

新虫 (小有名气)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
王倩113251: 金币+1 2016-11-02 11:44:48
这么薄要保证均匀肯定不能用磁控溅射,应该用ALD或者CVD
2楼2016-11-02 11:41:00
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王倩113251

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by kongkong俗 at 2016-11-02 11:41:00
这么薄要保证均匀肯定不能用磁控溅射,应该用ALD或者CVD

谢谢

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3楼2016-11-02 11:44:31
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喵喵是只猫

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个我们试过,磁控溅射比较难。
最近在试蒸发。
ALD就没几个单位能做金属的,别听他们扯了。
测试的话,用lift off做台阶然后用AFM扫。
4楼2016-11-02 12:04:15
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