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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 如何生长2nm左右的金属膜？
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王倩113251

新虫 (小有名气)

[交流] 如何生长2nm左右的金属膜？

请问熟悉半导体工艺方面的大神，用什么设备能长1-2nm的金属膜（金膜 或者银膜），听说磁控溅射可以，国内哪里可以做，精度度如何？同时这么薄的膜用什么测试仪器能够较为准确的测试？

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1楼 2016-11-02 11:35:52
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未成曲_调721

新虫 (小有名气)
★
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你好，我也有需要想在硅片上镀一层金膜，厚度30nm,请问磁控溅射可以做吗？
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7楼2016-11-02 12:15:13
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kongkong俗

新虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
王倩113251: 金币+1 2016-11-02 11:44:48
这么薄要保证均匀肯定不能用磁控溅射，应该用ALD或者CVD
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2楼2016-11-02 11:41:00
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王倩113251

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by kongkong俗 at 2016-11-02 11:41:00
这么薄要保证均匀肯定不能用磁控溅射，应该用ALD或者CVD

谢谢

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3楼2016-11-02 11:44:31
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喵喵是只猫

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个我们试过，磁控溅射比较难。
最近在试蒸发。
ALD就没几个单位能做金属的，别听他们扯了。
测试的话，用lift off做台阶然后用AFM扫。
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4楼2016-11-02 12:04:15
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