24小时热门版块排行榜    

查看: 2755  |  回复: 17

强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[求助] 光刻机在曝光的时候亮一下就不曝光了,什么原因 已有2人参与

我在做光刻实验时,在曝光过程中,灯亮了一下就不曝光了,会是什么原因?

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)

曝光强度不够标准了,需要调了,

发自小木虫IOS客户端
2楼2016-10-19 07:53:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)

准备工具:光强计,光强检测用的托盘

发自小木虫IOS客户端
3楼2016-10-19 07:56:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

ameng391

新虫 (小有名气)

有可能是设置的曝光时间太短

发自小木虫IOS客户端
4楼2016-10-19 10:32:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果设置没有问题的话,那就是汞灯衰竭了
5楼2016-10-20 18:50:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天海星云

新虫 (初入文坛)

通常曝光时,汞灯是一直亮着的,只是通过挡板挡住光,请确认你的灯是灭了,还是曝光时间结束后挡板挡住光了。如果你觉得时间太短可以调整曝光时间

发自小木虫Android客户端
6楼2016-10-20 20:43:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)

建议首先检查一下汞灯是否好的或者接触不良,然后观察一下在灯亮了一下后,曝光时间是否正常走;还有看看真空压力表示数是否正常或者偏小,很有可能是里面的连通的管子三通或者两通接头老化漏气,仔细听听声音。个人觉得最后一个概率最大。欢迎排查后反馈

发自小木虫Android客户端
慎独
7楼2016-10-22 23:32:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 叫我小川兄吧 at 2016-10-22 23:32:25
建议首先检查一下汞灯是否好的或者接触不良,然后观察一下在灯亮了一下后,曝光时间是否正常走;还有看看真空压力表示数是否正常或者偏小,很有可能是里面的连通的管子三通或者两通接头老化漏气,仔细听听声音。个人 ...

已找到问题了,是我把气压调的太小咯

发自小木虫Android客户端
8楼2016-10-23 00:17:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-10-23 00:17:31
已找到问题了,是我把气压调的太小咯
...

嗯,也就是说确实是压力层面不够的问题

发自小木虫IOS客户端
慎独
9楼2016-10-23 01:35:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

我是大百菜

新虫 (正式写手)

楼主,情况是这样的,我们的光刻机自己做了一套吸附掩膜版的托,但是安装上这个托,吸附不住掩膜版了,据说漏气(具体怎么吸附不住掩膜版的我也不清楚,当时试的时候我没在场。这是我之前都不知道。。)你有没有过遇见类似的事情,怎么解决的,可能的原因是什么?交流一下,谢谢。
10楼2017-02-25 21:54:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 强哥哥哥 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 0XLacIJUOj8D 2026-08-24 6/300 2026-08-25 00:11 by BZKMTicpDhFj
[基金申请] 如果此刻你正在为国基感到焦虑,不妨来听听这首《基金之外》 +7 scalable 2026-08-24 7/350 2026-08-24 23:01 by anata1209
[基金申请] 没有任何消息-是不是就凉了 +7 图啦图啦 2026-08-24 8/400 2026-08-24 22:00 by maomao_da
[论文投稿] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 0XLacIJUOj8D 2026-08-24 3/150 2026-08-24 21:59 by BZKMTicpDhFj
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +14 ziyangfang 2026-08-19 17/850 2026-08-24 18:37 by 哈哈蛤?
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +17 羊腰板 2026-08-21 19/950 2026-08-24 16:52 by iaeyuan
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +13 kulium 2026-08-21 16/800 2026-08-24 16:27 by superceng
[基金申请] 估计是周四 +4 archvillain 2026-08-18 4/200 2026-08-24 13:53 by zzuzxg
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +6 炎黄贵胄 2026-08-22 7/350 2026-08-24 11:58 by 6543yes
[基金申请] 朋友圈看到的 +7 wangzilk 2026-08-18 9/450 2026-08-24 10:50 by cmrandy
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +4 process2012 2026-08-23 5/250 2026-08-23 19:58 by jurkat.1640
[基金申请] 今天放榜吗? +15 布布和一二 2026-08-19 16/800 2026-08-23 09:55 by 张春生
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +16 kkkl_v 2026-08-19 17/850 2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
[基金申请] 时间戳今天,20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 看来今天不会放榜了? +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
信息提示
请填处理意见