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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[求助] 光刻机在曝光的时候亮一下就不曝光了,什么原因 已有2人参与

我在做光刻实验时,在曝光过程中,灯亮了一下就不曝光了,会是什么原因?

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我是大百菜

新虫 (正式写手)

楼主,情况是这样的,我们的光刻机自己做了一套吸附掩膜版的托,但是安装上这个托,吸附不住掩膜版了,据说漏气(具体怎么吸附不住掩膜版的我也不清楚,当时试的时候我没在场。这是我之前都不知道。。)你有没有过遇见类似的事情,怎么解决的,可能的原因是什么?交流一下,谢谢。
10楼2017-02-25 21:54:47
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刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)

曝光强度不够标准了,需要调了,

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2楼2016-10-19 07:53:44
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刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)

准备工具:光强计,光强检测用的托盘

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3楼2016-10-19 07:56:08
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ameng391

新虫 (小有名气)

有可能是设置的曝光时间太短

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4楼2016-10-19 10:32:34
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