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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[求助] 光刻机在曝光的时候亮一下就不曝光了,什么原因 已有2人参与

我在做光刻实验时,在曝光过程中,灯亮了一下就不曝光了,会是什么原因?

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刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)

曝光强度不够标准了,需要调了,

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2楼2016-10-19 07:53:44
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刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)

准备工具:光强计,光强检测用的托盘

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3楼2016-10-19 07:56:08
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普通回帖

ameng391

新虫 (小有名气)

有可能是设置的曝光时间太短

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4楼2016-10-19 10:32:34
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果设置没有问题的话,那就是汞灯衰竭了
5楼2016-10-20 18:50:54
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天海星云

新虫 (初入文坛)

通常曝光时,汞灯是一直亮着的,只是通过挡板挡住光,请确认你的灯是灭了,还是曝光时间结束后挡板挡住光了。如果你觉得时间太短可以调整曝光时间

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6楼2016-10-20 20:43:42
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)

建议首先检查一下汞灯是否好的或者接触不良,然后观察一下在灯亮了一下后,曝光时间是否正常走;还有看看真空压力表示数是否正常或者偏小,很有可能是里面的连通的管子三通或者两通接头老化漏气,仔细听听声音。个人觉得最后一个概率最大。欢迎排查后反馈

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慎独
7楼2016-10-22 23:32:25
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 叫我小川兄吧 at 2016-10-22 23:32:25
建议首先检查一下汞灯是否好的或者接触不良,然后观察一下在灯亮了一下后,曝光时间是否正常走;还有看看真空压力表示数是否正常或者偏小,很有可能是里面的连通的管子三通或者两通接头老化漏气,仔细听听声音。个人 ...

已找到问题了,是我把气压调的太小咯

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8楼2016-10-23 00:17:31
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-10-23 00:17:31
已找到问题了,是我把气压调的太小咯
...

嗯,也就是说确实是压力层面不够的问题

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慎独
9楼2016-10-23 01:35:53
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我是大百菜

新虫 (正式写手)

楼主,情况是这样的,我们的光刻机自己做了一套吸附掩膜版的托,但是安装上这个托,吸附不住掩膜版了,据说漏气(具体怎么吸附不住掩膜版的我也不清楚,当时试的时候我没在场。这是我之前都不知道。。)你有没有过遇见类似的事情,怎么解决的,可能的原因是什么?交流一下,谢谢。
10楼2017-02-25 21:54:47
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