2楼: Originally posted by 刺鸟疯了 at 2016-10-19 07:53:44
曝光强度不够标准了，需要调了，

3楼: Originally posted by 刺鸟疯了 at 2016-10-19 07:56:08
准备工具：光强计，光强检测用的托盘

4楼: Originally posted by ameng391 at 2016-10-19 10:32:34
有可能是设置的曝光时间太短

5楼: Originally posted by babyoflion at 2016-10-20 18:50:54
如果设置没有问题的话，那就是汞灯衰竭了

6楼: Originally posted by 天海星云 at 2016-10-20 20:43:42
通常曝光时，汞灯是一直亮着的，只是通过挡板挡住光，请确认你的灯是灭了，还是曝光时间结束后挡板挡住光了。如果你觉得时间太短可以调整曝光时间

7楼: Originally posted by 叫我小川兄吧 at 2016-10-22 23:32:25
建议首先检查一下汞灯是否好的或者接触不良，然后观察一下在灯亮了一下后，曝光时间是否正常走；还有看看真空压力表示数是否正常或者偏小，很有可能是里面的连通的管子三通或者两通接头老化漏气，仔细听听声音。个人 ...

16楼: Originally posted by 我是大百菜 at 2017-02-25 22:00:34
层主，情况是这样的，我们的光刻机自己做了一套吸附掩膜版的托，但是安装上这个托，吸附不住掩膜版了，据说漏气（具体怎么吸附不住掩膜版的我也不清楚，当时试的时候我没在场。这是我之前都不知道。。）你有没有过 ...