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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

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专业: 半导体科学与信息器件

[求助] 光刻机在曝光的时候亮一下就不曝光了，什么原因已有2人参与

我在做光刻实验时，在曝光过程中，灯亮了一下就不曝光了，会是什么原因？

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1楼 2016-10-18 20:58:05

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

我是大百菜

新虫 (正式写手)

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专业: 电磁场与电路

引用回帖:

7楼: Originally posted by 叫我小川兄吧 at 2016-10-22 23:32:25
建议首先检查一下汞灯是否好的或者接触不良，然后观察一下在灯亮了一下后，曝光时间是否正常走；还有看看真空压力表示数是否正常或者偏小，很有可能是里面的连通的管子三通或者两通接头老化漏气，仔细听听声音。个人 ...

层主，情况是这样的，我们的光刻机自己做了一套吸附掩膜版的托，但是安装上这个托，吸附不住掩膜版了，据说漏气（具体怎么吸附不住掩膜版的我也不清楚，当时试的时候我没在场。这是我之前都不知道。。）你有没有过遇见类似的事情，怎么解决的，可能的原因是什么？交流一下，谢谢。打扰了。