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强哥哥哥新虫 (著名写手)
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[求助]
光刻机在曝光的时候亮一下就不曝光了，什么原因 已有2人参与
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我在做光刻实验时，在曝光过程中，灯亮了一下就不曝光了，会是什么原因？ 发自小木虫Android客户端 |
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木虫 (正式写手)
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- 专业: 半导体材料
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建议首先检查一下汞灯是否好的或者接触不良，然后观察一下在灯亮了一下后，曝光时间是否正常走；还有看看真空压力表示数是否正常或者偏小，很有可能是里面的连通的管子三通或者两通接头老化漏气，仔细听听声音。个人觉得最后一个概率最大。欢迎排查后反馈 发自小木虫Android客户端 |
7楼2016-10-22 23:32:25
刺鸟疯了
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2楼2016-10-19 07:53:44
刺鸟疯了
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3楼2016-10-19 07:56:08
4楼2016-10-19 10:32:34