| 查看: 2751 | 回复: 17 | ||
强哥哥哥新虫 (著名写手)
|
[求助]
光刻机在曝光的时候亮一下就不曝光了，什么原因 已有2人参与
|
|
|
我在做光刻实验时，在曝光过程中，灯亮了一下就不曝光了，会是什么原因？ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有281人回复
刺鸟疯了
铁虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1331.4
- 散金: 1060
- 红花: 3
- 帖子: 725
- 在线: 75小时
- 虫号: 3463603
- 注册: 2014-10-09
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2016-10-19 07:53:44
刺鸟疯了
铁虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1331.4
- 散金: 1060
- 红花: 3
- 帖子: 725
- 在线: 75小时
- 虫号: 3463603
- 注册: 2014-10-09
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
3楼2016-10-19 07:56:08
4楼2016-10-19 10:32:34
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4776.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2508
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
5楼2016-10-20 18:50:54
6楼2016-10-20 20:43:42
叫我小川兄吧
木虫 (正式写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 2332.9
- 散金: 1791
- 红花: 17
- 帖子: 792
- 在线: 199.6小时
- 虫号: 3226397
- 注册: 2014-05-22
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
|
建议首先检查一下汞灯是否好的或者接触不良，然后观察一下在灯亮了一下后，曝光时间是否正常走；还有看看真空压力表示数是否正常或者偏小，很有可能是里面的连通的管子三通或者两通接头老化漏气，仔细听听声音。个人觉得最后一个概率最大。欢迎排查后反馈 发自小木虫Android客户端 |
7楼2016-10-22 23:32:25
强哥哥哥
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5863.8
- 散金: 25
- 红花: 19
- 帖子: 2375
- 在线: 136.3小时
- 虫号: 4127252
- 注册: 2015-10-08
- 性别: GG
- 专业: 半导体科学与信息器件
8楼2016-10-23 00:17:31
叫我小川兄吧
木虫 (正式写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 2332.9
- 散金: 1791
- 红花: 17
- 帖子: 792
- 在线: 199.6小时
- 虫号: 3226397
- 注册: 2014-05-22
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
9楼2016-10-23 01:35:53
10楼2017-02-25 21:54:47
20