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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[求助] 光刻机在曝光的时候亮一下就不曝光了,什么原因 已有2人参与

我在做光刻实验时,在曝光过程中,灯亮了一下就不曝光了,会是什么原因?

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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 叫我小川兄吧 at 2016-10-22 23:32:25
建议首先检查一下汞灯是否好的或者接触不良,然后观察一下在灯亮了一下后,曝光时间是否正常走;还有看看真空压力表示数是否正常或者偏小,很有可能是里面的连通的管子三通或者两通接头老化漏气,仔细听听声音。个人 ...

已找到问题了,是我把气压调的太小咯

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8楼2016-10-23 00:17:31
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查看全部 18 个回答

刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)

曝光强度不够标准了,需要调了,

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2楼2016-10-19 07:53:44
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刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)

准备工具:光强计,光强检测用的托盘

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3楼2016-10-19 07:56:08
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ameng391

新虫 (小有名气)

有可能是设置的曝光时间太短

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4楼2016-10-19 10:32:34
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