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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 光刻机在曝光的时候亮一下就不曝光了，什么原因
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[求助] 光刻机在曝光的时候亮一下就不曝光了，什么原因 已有2人参与

我在做光刻实验时，在曝光过程中，灯亮了一下就不曝光了，会是什么原因？

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1楼 2016-10-18 20:58:05
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我是大百菜

新虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ameng391 at 2016-10-19 10:32:34
有可能是设置的曝光时间太短

层主，情况是这样的，我们的光刻机自己做了一套吸附掩膜版的托，但是安装上这个托，吸附不住掩膜版了，据说漏气（具体怎么吸附不住掩膜版的我也不清楚，当时试的时候我没在场。这是我之前都不知道。。）你有没有过遇见类似的事情，怎么解决的，可能的原因是什么？交流一下，谢谢。打扰了。
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13楼2017-02-25 21:56:07
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刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)
曝光强度不够标准了，需要调了，

发自小木虫IOS客户端
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2楼2016-10-19 07:53:44
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刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)
准备工具：光强计，光强检测用的托盘

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3楼2016-10-19 07:56:08
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ameng391

新虫 (小有名气)
有可能是设置的曝光时间太短

发自小木虫IOS客户端
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4楼2016-10-19 10:32:34
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