24小时热门版块排行榜    

查看: 2515  |  回复: 17
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[求助] 光刻机在曝光的时候亮一下就不曝光了,什么原因 已有2人参与

我在做光刻实验时,在曝光过程中,灯亮了一下就不曝光了,会是什么原因?

发自小木虫Android客户端
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
16楼: Originally posted by 我是大百菜 at 2017-02-25 22:00:34
层主,情况是这样的,我们的光刻机自己做了一套吸附掩膜版的托,但是安装上这个托,吸附不住掩膜版了,据说漏气(具体怎么吸附不住掩膜版的我也不清楚,当时试的时候我没在场。这是我之前都不知道。。)你有没有过 ...

这个吸附的应该是有个泵在抽气的,你检查一下

发自小木虫Android客户端
慎独
17楼2017-02-25 22:07:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 18 个回答

刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)

曝光强度不够标准了,需要调了,

发自小木虫IOS客户端
2楼2016-10-19 07:53:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)

准备工具:光强计,光强检测用的托盘

发自小木虫IOS客户端
3楼2016-10-19 07:56:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ameng391

新虫 (小有名气)

有可能是设置的曝光时间太短

发自小木虫IOS客户端
4楼2016-10-19 10:32:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见