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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 有用磁控溅射镀膜的同学吗？
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憧憬那年

木虫 (正式写手)

[交流] 有用磁控溅射镀膜的同学吗？

根据文献做镀膜实验，但做实验的时候没有考虑膜的厚度，只控制了时间！我度的事多层膜，比如某一层度了4min，有的度了40秒，做完才想起来厚度该怎么弄呢？文献里人家做分析的时候都是以膜厚度为依据的，有知道的小伙伴吗？
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1楼 2016-09-30 20:14:33
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perry_ping

新虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
先测每种材料的溅射率，然后通过时间就能知道厚度了

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19楼2016-10-11 10:55:05
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
每次做一下台阶，看一下厚度，不可能一次性做成功的

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6楼2016-09-30 21:52:43
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 憧憬那年 at 2016-10-01 15:44:03
嗯，我听过台阶这种方法，但是具体做不知道，是不是镀膜的时候就得操作，镀完了就没法做台阶了，有没有什么文献啊？...

在放进去之前就要做台阶，

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12楼2016-10-01 23:14:44
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
不是可以做电镜观察截面吗，材料不一样，可以看得到。

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5楼2016-09-30 20:50:58
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
断面做腐蚀，然后场发射sem观察断面

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7楼2016-10-01 07:39:22
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憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-10-01 07:39:22
断面做腐蚀，然后场发射sem观察断面

我也咨询了几个人，说用SEM观察，他们说的是把断面用砂纸打磨，不知道行不行，您这个做腐蚀具体是怎么操作呢？或者有类似文献没？我头一次做这个，上面没有师兄师姐，所以只能自己摸索。
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8楼2016-10-01 15:42:54
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憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-09-30 21:52:43
每次做一下台阶，看一下厚度，不可能一次性做成功的

嗯，我听过台阶这种方法，但是具体做不知道，是不是镀膜的时候就得操作，镀完了就没法做台阶了，有没有什么文献啊？
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9楼2016-10-01 15:44:03
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憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by chenjin at 2016-09-30 20:50:58
不是可以做电镜观察截面吗，材料不一样，可以看得到。

断面是不是得磨一下？
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10楼2016-10-01 15:44:42
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
不要磨，可能会破坏掉膜的界面，用酸腐蚀出来膜间的分界，掰断的时候可以在衬底那面先用玻璃刀画出痕迹来再掰，就会掰的很整齐了

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11楼2016-10-01 18:49:36
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18236922602

新虫 (初入文坛)
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
8楼: Originally posted by 憧憬那年 at 2016-10-01 15:42:54
我也咨询了几个人，说用SEM观察，他们说的是把断面用砂纸打磨，不知道行不行，您这个做腐蚀具体是怎么操作呢？或者有类似文献没？我头一次做这个，上面没有师兄师姐，所以只能自己摸索。...

砂纸打磨不太好，比较粗糙。如果电镜图片你文章上要用就更不行，可以用金刚石刀裁切，然后电镜看界截面。如果衬底硬度过大不利于切割，要是你只是研究不同溅射时间镀膜厚度，你可以选择一个易切割的衬底，比如单晶硅片。

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13楼2016-10-02 05:32:44
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
得摸索沉积速率

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14楼2016-10-02 11:51:00
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
切开，再在断面做sem

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17楼2016-10-04 13:18:30
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憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by lqm070 at 2016-10-02 11:51:00
得摸索沉积速率

好吧，还得摸索
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18楼2016-10-04 21:54:49
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憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
19楼: Originally posted by perry_ping at 2016-10-11 10:55:05
先测每种材料的溅射率，然后通过时间就能知道厚度了

嗯嗯，现在就用这种方法在弄。谢谢啦
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20楼2016-10-12 09:30:58
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
18楼: Originally posted by 憧憬那年 at 2016-10-04 21:54:49
好吧，还得摸索

一个仪器和一个仪器都不一样

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21楼2016-10-12 13:37:43
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憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
21楼: Originally posted by lqm070 at 2016-10-12 13:37:43
一个仪器和一个仪器都不一样
...

嗯嗯。我问过了大概是8-10nm每分钟
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22楼2016-10-13 10:35:52
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
挺高啦

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23楼2016-10-13 12:43:14
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憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
23楼: Originally posted by lqm070 at 2016-10-13 12:43:14
挺高啦

嗯嗯，老师告诉我的，我先按照这种方法弄一下，看能行不
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24楼2016-10-13 16:20:24
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beeingfly

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有做速率测试吗？有速率有时间就可以控制膜厚了

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25楼2016-10-14 23:27:32
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憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
25楼: Originally posted by beeingfly at 2016-10-14 23:27:32
有做速率测试吗？有速率有时间就可以控制膜厚了

没有做过，具体怎么做呢？
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26楼2016-10-15 10:13:06
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Only丶One

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
看tem呀  你是做抗辐照吗
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27楼2016-10-17 12:29:33
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零妖^_^

新虫 (初入文坛)
用台阶仪吧

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28楼2016-10-17 14:04:49
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sciencetechn

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
如果知道具体材料的沉积速率，按时间来计算比较方便，如果不知道，可以切一个断面，做sem观察。如有其它问题，请追问，一起探讨
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29楼2016-10-18 15:19:46
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憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
29楼: Originally posted by sciencetechn at 2016-10-18 15:19:46
如果知道具体材料的沉积速率，按时间来计算比较方便，如果不知道，可以切一个断面，做sem观察。如有其它问题，请追问，一起探讨

请问你说的这个断面怎么切呢？我是想把侧面磨平，然后用SEM拍个照片，测量出厚度，再按放大比例缩小就是其厚度，不知是否合理
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30楼2016-10-19 15:42:02
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蔡蔡不是菜

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我也是做磁控溅射镀膜实验的，这个厚度可以通过扫描电镜或者台阶仪测试出来的
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31楼2016-10-23 14:15:46
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憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
31楼: Originally posted by 蔡蔡不是菜 at 2016-10-23 14:15:46
我也是做磁控溅射镀膜实验的，这个厚度可以通过扫描电镜或者台阶仪测试出来的

太好了，我想问下，这个台阶仪的方法怎么用呢？有没有什么文献或者书籍推荐下啊？谢谢了
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32楼2016-10-23 16:26:58
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1192313852

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可以做台阶，测一下厚度

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33楼2017-04-17 12:23:56
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877433020

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
镀的时候多卡一个硅片，完了以后把硅片掰断，用SEM观察断面
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34楼2018-05-15 10:16:47
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xhmaohan2楼
2016-09-30 20:30   回复  
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10628652323楼
2016-09-30 20:41   回复  
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假大空4楼
2016-09-30 20:49   回复  
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顶
lanycorp15楼
2016-10-02 12:26   回复  
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caledonian16楼
2016-10-04 09:02   回复  
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
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