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有用磁控溅射镀膜的同学吗?
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憧憬那年
木虫
(正式写手)
应助: 3
(幼儿园)
金币: 3022.9
帖子: 543
在线: 118.3小时
虫号: 1292648
[交流]
有用磁控溅射镀膜的同学吗?
根据文献做镀膜实验,但做实验的时候没有考虑膜的厚度,只控制了时间!我度的事多层膜,比如某一层度了4min,有的度了40秒,做完才想起来厚度该怎么弄呢?文献里人家做分析的时候都是以膜厚度为依据的,有知道的小伙伴吗?
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2016-09-30 20:14:33
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强哥哥哥
新虫
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帖子: 2374
在线: 136.3小时
虫号: 4127252
引用回帖:
9楼
:
Originally posted by
憧憬那年
at 2016-10-01 15:44:03
嗯,我听过台阶这种方法,但是具体做不知道,是不是镀膜的时候就得操作,镀完了就没法做台阶了,有没有什么文献啊?
...
在放进去之前就要做台阶,
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12楼
2016-10-01 23:14:44
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chenjin
铁杆木虫
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★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
不是可以做电镜观察截面吗,材料不一样,可以看得到。
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5楼
2016-09-30 20:50:58
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强哥哥哥
新虫
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(幼儿园)
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虫号: 4127252
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
每次做一下台阶,看一下厚度,不可能一次性做成功的
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6楼
2016-09-30 21:52:43
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kangye_1989
木虫
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帖子: 1216
在线: 149.1小时
虫号: 2737587
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
断面做腐蚀,然后场发射sem观察断面
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7楼
2016-10-01 07:39:22
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