应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 有用磁控溅射镀膜的同学吗？
341/1返回列表
查看: 4199  |  回复: 33
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

憧憬那年

木虫 (正式写手)

[交流] 有用磁控溅射镀膜的同学吗？

根据文献做镀膜实验，但做实验的时候没有考虑膜的厚度，只控制了时间！我度的事多层膜，比如某一层度了4min，有的度了40秒，做完才想起来厚度该怎么弄呢？文献里人家做分析的时候都是以膜厚度为依据的，有知道的小伙伴吗？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2016-09-30 20:14:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

perry_ping

新虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
先测每种材料的溅射率，然后通过时间就能知道厚度了

发自小木虫IOS客户端
赞一下(2人) 回复此楼
19楼2016-10-11 10:55:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

强哥哥哥

新虫 (著名写手)
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
每次做一下台阶，看一下厚度，不可能一次性做成功的

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2016-09-30 21:52:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 憧憬那年 at 2016-10-01 15:44:03
嗯，我听过台阶这种方法，但是具体做不知道，是不是镀膜的时候就得操作，镀完了就没法做台阶了，有没有什么文献啊？...

在放进去之前就要做台阶，

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
12楼2016-10-01 23:14:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chenjin

铁杆木虫 (著名写手)
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
不是可以做电镜观察截面吗，材料不一样，可以看得到。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2016-09-30 20:50:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kangye_1989

木虫 (著名写手)
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
断面做腐蚀，然后场发射sem观察断面

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
7楼2016-10-01 07:39:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-10-01 07:39:22
断面做腐蚀，然后场发射sem观察断面

我也咨询了几个人，说用SEM观察，他们说的是把断面用砂纸打磨，不知道行不行，您这个做腐蚀具体是怎么操作呢？或者有类似文献没？我头一次做这个，上面没有师兄师姐，所以只能自己摸索。
赞一下 回复此楼
8楼2016-10-01 15:42:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-09-30 21:52:43
每次做一下台阶，看一下厚度，不可能一次性做成功的

嗯，我听过台阶这种方法，但是具体做不知道，是不是镀膜的时候就得操作，镀完了就没法做台阶了，有没有什么文献啊？
赞一下 回复此楼
9楼2016-10-01 15:44:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by chenjin at 2016-09-30 20:50:58
不是可以做电镜观察截面吗，材料不一样，可以看得到。

断面是不是得磨一下？
赞一下 回复此楼
10楼2016-10-01 15:44:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kangye_1989

木虫 (著名写手)
不要磨，可能会破坏掉膜的界面，用酸腐蚀出来膜间的分界，掰断的时候可以在衬底那面先用玻璃刀画出痕迹来再掰，就会掰的很整齐了

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
11楼2016-10-01 18:49:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

18236922602

新虫 (初入文坛)
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
8楼: Originally posted by 憧憬那年 at 2016-10-01 15:42:54
我也咨询了几个人，说用SEM观察，他们说的是把断面用砂纸打磨，不知道行不行，您这个做腐蚀具体是怎么操作呢？或者有类似文献没？我头一次做这个，上面没有师兄师姐，所以只能自己摸索。...

砂纸打磨不太好，比较粗糙。如果电镜图片你文章上要用就更不行，可以用金刚石刀裁切，然后电镜看界截面。如果衬底硬度过大不利于切割，要是你只是研究不同溅射时间镀膜厚度，你可以选择一个易切割的衬底，比如单晶硅片。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
13楼2016-10-02 05:32:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
得摸索沉积速率

发自小木虫Android客户端
回复此楼
14楼2016-10-02 11:51:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

起名字真难诶

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
切开，再在断面做sem

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
17楼2016-10-04 13:18:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by lqm070 at 2016-10-02 11:51:00
得摸索沉积速率

好吧，还得摸索
回复此楼
18楼2016-10-04 21:54:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
19楼: Originally posted by perry_ping at 2016-10-11 10:55:05
先测每种材料的溅射率，然后通过时间就能知道厚度了

嗯嗯，现在就用这种方法在弄。谢谢啦
赞一下 回复此楼
20楼2016-10-12 09:30:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
18楼: Originally posted by 憧憬那年 at 2016-10-04 21:54:49
好吧，还得摸索

一个仪器和一个仪器都不一样

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
21楼2016-10-12 13:37:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
21楼: Originally posted by lqm070 at 2016-10-12 13:37:43
一个仪器和一个仪器都不一样
...

嗯嗯。我问过了大概是8-10nm每分钟
赞一下 回复此楼
22楼2016-10-13 10:35:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
挺高啦

发自小木虫Android客户端
回复此楼
23楼2016-10-13 12:43:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
23楼: Originally posted by lqm070 at 2016-10-13 12:43:14
挺高啦

嗯嗯，老师告诉我的，我先按照这种方法弄一下，看能行不
赞一下 回复此楼
24楼2016-10-13 16:20:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

beeingfly

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有做速率测试吗？有速率有时间就可以控制膜厚了

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
25楼2016-10-14 23:27:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
25楼: Originally posted by beeingfly at 2016-10-14 23:27:32
有做速率测试吗？有速率有时间就可以控制膜厚了

没有做过，具体怎么做呢？
赞一下 回复此楼
26楼2016-10-15 10:13:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Only丶One

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
看tem呀  你是做抗辐照吗
赞一下 回复此楼
27楼2016-10-17 12:29:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

零妖^_^

新虫 (初入文坛)
用台阶仪吧

发自小木虫Android客户端
回复此楼
28楼2016-10-17 14:04:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sciencetechn

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
如果知道具体材料的沉积速率，按时间来计算比较方便，如果不知道，可以切一个断面，做sem观察。如有其它问题，请追问，一起探讨
赞一下 回复此楼
29楼2016-10-18 15:19:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
29楼: Originally posted by sciencetechn at 2016-10-18 15:19:46
如果知道具体材料的沉积速率，按时间来计算比较方便，如果不知道，可以切一个断面，做sem观察。如有其它问题，请追问，一起探讨

请问你说的这个断面怎么切呢？我是想把侧面磨平，然后用SEM拍个照片，测量出厚度，再按放大比例缩小就是其厚度，不知是否合理
赞一下 回复此楼
30楼2016-10-19 15:42:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

蔡蔡不是菜

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我也是做磁控溅射镀膜实验的，这个厚度可以通过扫描电镜或者台阶仪测试出来的
赞一下 回复此楼
31楼2016-10-23 14:15:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
31楼: Originally posted by 蔡蔡不是菜 at 2016-10-23 14:15:46
我也是做磁控溅射镀膜实验的，这个厚度可以通过扫描电镜或者台阶仪测试出来的

太好了，我想问下，这个台阶仪的方法怎么用呢？有没有什么文献或者书籍推荐下啊？谢谢了
赞一下 回复此楼
32楼2016-10-23 16:26:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1192313852

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可以做台阶，测一下厚度

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
33楼2017-04-17 12:23:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

877433020

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
镀的时候多卡一个硅片，完了以后把硅片掰断，用SEM观察断面
赞一下 回复此楼
34楼2018-05-15 10:16:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
xhmaohan2楼
2016-09-30 20:30   回复  
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
10628652323楼
2016-09-30 20:41   回复  
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
假大空4楼
2016-09-30 20:49   回复  
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
顶
lanycorp15楼
2016-10-02 12:26   回复  
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
祝福 发自小木虫IOS客户端
caledonian16楼
2016-10-04 09:02   回复  
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
相关版块跳转 我要订阅楼主 憧憬那年 的主题更新
341/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭