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憧憬那年

木虫 (正式写手)


[交流] 有用磁控溅射镀膜的同学吗?

根据文献做镀膜实验,但做实验的时候没有考虑膜的厚度,只控制了时间!我度的事多层膜,比如某一层度了4min,有的度了40秒,做完才想起来厚度该怎么弄呢?文献里人家做分析的时候都是以膜厚度为依据的,有知道的小伙伴吗?
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18236922602

新虫 (初入文坛)



憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
8楼: Originally posted by 憧憬那年 at 2016-10-01 15:42:54
我也咨询了几个人,说用SEM观察,他们说的是把断面用砂纸打磨,不知道行不行,您这个做腐蚀具体是怎么操作呢?或者有类似文献没?我头一次做这个,上面没有师兄师姐,所以只能自己摸索。...

砂纸打磨不太好,比较粗糙。如果电镜图片你文章上要用就更不行,可以用金刚石刀裁切,然后电镜看界截面。如果衬底硬度过大不利于切割,要是你只是研究不同溅射时间镀膜厚度,你可以选择一个易切割的衬底,比如单晶硅片。

发自小木虫Android客户端
13楼2016-10-02 05:32:44
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)



憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
不是可以做电镜观察截面吗,材料不一样,可以看得到。

发自小木虫Android客户端
5楼2016-09-30 20:50:58
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)



憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
每次做一下台阶,看一下厚度,不可能一次性做成功的

发自小木虫Android客户端
6楼2016-09-30 21:52:43
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kangye_1989

木虫 (著名写手)



憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
断面做腐蚀,然后场发射sem观察断面

发自小木虫Android客户端
7楼2016-10-01 07:39:22
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