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憧憬那年

木虫 (正式写手)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 3022.9
帖子: 543
在线: 118.3小时
虫号: 1292648

[交流] 有用磁控溅射镀膜的同学吗？

根据文献做镀膜实验，但做实验的时候没有考虑膜的厚度，只控制了时间！我度的事多层膜，比如某一层度了4min，有的度了40秒，做完才想起来厚度该怎么弄呢？文献里人家做分析的时候都是以膜厚度为依据的，有知道的小伙伴吗？

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1楼 2016-09-30 20:14:33

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18236922602

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 52
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在线: 9.1小时
虫号: 4387115

★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与

引用回帖:

8楼: Originally posted by 憧憬那年 at 2016-10-01 15:42:54
我也咨询了几个人，说用SEM观察，他们说的是把断面用砂纸打磨，不知道行不行，您这个做腐蚀具体是怎么操作呢？或者有类似文献没？我头一次做这个，上面没有师兄师姐，所以只能自己摸索。...

砂纸打磨不太好，比较粗糙。如果电镜图片你文章上要用就更不行，可以用金刚石刀裁切，然后电镜看界截面。如果衬底硬度过大不利于切割，要是你只是研究不同溅射时间镀膜厚度，你可以选择一个易切割的衬底，比如单晶硅片。

发自小木虫Android客户端