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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 有用磁控溅射镀膜的同学吗？
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憧憬那年

木虫 (正式写手)

[交流] 有用磁控溅射镀膜的同学吗？

根据文献做镀膜实验，但做实验的时候没有考虑膜的厚度，只控制了时间！我度的事多层膜，比如某一层度了4min，有的度了40秒，做完才想起来厚度该怎么弄呢？文献里人家做分析的时候都是以膜厚度为依据的，有知道的小伙伴吗？
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1楼 2016-09-30 20:14:33
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憧憬那年

木虫 (正式写手)
引用回帖:
29楼: Originally posted by sciencetechn at 2016-10-18 15:19:46
如果知道具体材料的沉积速率，按时间来计算比较方便，如果不知道，可以切一个断面，做sem观察。如有其它问题，请追问，一起探讨

请问你说的这个断面怎么切呢？我是想把侧面磨平，然后用SEM拍个照片，测量出厚度，再按放大比例缩小就是其厚度，不知是否合理
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30楼2016-10-19 15:42:02
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
不是可以做电镜观察截面吗，材料不一样，可以看得到。

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5楼2016-09-30 20:50:58
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
每次做一下台阶，看一下厚度，不可能一次性做成功的

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6楼2016-09-30 21:52:43
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
断面做腐蚀，然后场发射sem观察断面

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7楼2016-10-01 07:39:22
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