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有用磁控溅射镀膜的同学吗?
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憧憬那年
木虫
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应助: 3
(幼儿园)
金币: 3029.2
帖子: 546
在线: 118.3小时
虫号: 1292648
[交流]
有用磁控溅射镀膜的同学吗?
根据文献做镀膜实验,但做实验的时候没有考虑膜的厚度,只控制了时间!我度的事多层膜,比如某一层度了4min,有的度了40秒,做完才想起来厚度该怎么弄呢?文献里人家做分析的时候都是以膜厚度为依据的,有知道的小伙伴吗?
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1楼
2016-09-30 20:14:33
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kangye_1989
木虫
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帖子: 1216
在线: 149.1小时
虫号: 2737587
不要磨,可能会破坏掉膜的界面,用酸腐蚀出来膜间的分界,掰断的时候可以在衬底那面先用玻璃刀画出痕迹来再掰,就会掰的很整齐了
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11楼
2016-10-01 18:49:36
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chenjin
铁杆木虫
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在线: 450.7小时
虫号: 102844
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
不是可以做电镜观察截面吗,材料不一样,可以看得到。
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5楼
2016-09-30 20:50:58
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强哥哥哥
新虫
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(幼儿园)
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帖子: 2374
在线: 136.3小时
虫号: 4127252
★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
每次做一下台阶,看一下厚度,不可能一次性做成功的
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6楼
2016-09-30 21:52:43
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kangye_1989
木虫
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(博士)
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★
憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
断面做腐蚀,然后场发射sem观察断面
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7楼
2016-10-01 07:39:22
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