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憧憬那年

木虫 (正式写手)


[交流] 有用磁控溅射镀膜的同学吗?

根据文献做镀膜实验,但做实验的时候没有考虑膜的厚度,只控制了时间!我度的事多层膜,比如某一层度了4min,有的度了40秒,做完才想起来厚度该怎么弄呢?文献里人家做分析的时候都是以膜厚度为依据的,有知道的小伙伴吗?
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憧憬那年

木虫 (正式写手)


引用回帖:
19楼: Originally posted by perry_ping at 2016-10-11 10:55:05
先测每种材料的溅射率,然后通过时间就能知道厚度了

嗯嗯,现在就用这种方法在弄。谢谢啦
20楼2016-10-12 09:30:58
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)



憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
不是可以做电镜观察截面吗,材料不一样,可以看得到。

发自小木虫Android客户端
5楼2016-09-30 20:50:58
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)



憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
每次做一下台阶,看一下厚度,不可能一次性做成功的

发自小木虫Android客户端
6楼2016-09-30 21:52:43
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kangye_1989

木虫 (著名写手)



憧憬那年(金币+1): 谢谢参与
断面做腐蚀,然后场发射sem观察断面

发自小木虫Android客户端
7楼2016-10-01 07:39:22
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