应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 射频磁控溅射薄膜成分问题
201/2返回列表12下一页
查看: 2789  |  回复: 19
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

hihxl1

木虫 (正式写手)

[求助] 射频磁控溅射薄膜成分问题 已有1人参与

1. 基本描述：
靶材为MoS2、SiO2等非导电（导电能力弱）的靶材，直径100mm。射频溅射电源起辉，气压0.8Pa，功率300W。
溅射系统：前期采用单极脉冲磁控溅射时，靶材通过压环固定于阴极上，外部有一阳极罩。采用射频电源后将阳极罩去掉不用，直接以图1的方式起辉镀膜。
2. 问题描述及分析：
薄膜成分通过能谱仪测试后，发现薄膜除靶材元素外，一直能够检测到Fe、Cr等污染元素，分析是由于压环（不锈钢）溅射引起的。
如何避免来自压环的溅射，减小甚至消除污染元素来源？

射频磁控溅射薄膜成分问题
图2 起辉照片.png


射频磁控溅射薄膜成分问题-1
图1 射频溅射起辉时靶材的原始状态.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
新年里我要好好努力！创造新的辉煌！
1楼 2016-07-19 15:48:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

寄居灰

新虫 (初入文坛)
不罩罩子不是会溅射到压环么，我自己做都不上固定压环的，因为以前上了压环总是会有压环中的元素溅射到薄膜中

发自小木虫Android客户端
赞一下(3人) 回复此楼
17楼2016-07-21 22:45:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
灭弧来源于功率不稳或低，加大气流可以或低功率缓升，对材料起始太大，稳定会会好点，再有表皮可能也有影响

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
8楼2016-07-20 10:39:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

东东那个东

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
hihxl1: 金币+7, ★★★很有帮助, 你最后的图片说明，您们做纯ZnO也出现Al元素污染？还是做ZAO薄膜呀？没明白~ 2016-07-20 15:40:44
引用回帖:
7楼: Originally posted by hihxl1 at 2016-07-20 10:37:07
1. 安装防护罩后距离靶材的距离约在1.5mm，但是经常灭弧，估计和气压有关。
2. 靶头指的是压环、靶材以及保护罩的尺寸不合适吗？...

靶头的防护罩与靶材间距离在您购买仪器时说明书应该说到，说明书上没有，您应该让销售方给您问清楚。
经常灭弧，1、靶头和防护罩间距小了，产生不了高压差
               2、真空度太低，产生不了足够的等离子体轰击靶材（您的检测真空计检测的不是真实的腔体真空度，很多人认为泵上面显示真空度是腔体真空度，那是错的。）
               3、靶头中的靶材与靶头的极板接触不良，使其闪弧或射频调很大才出弧。

我们这边的靶头在采购来时都要试用多次才能判断是不是能用，但是很少去测溅射下来的样品成分，一般在靶台的周边有点杂质是不计入的   ，控制基底的大小也需要去摸索。
这是我们做的氧化锌。
射频磁控溅射薄膜成分问题-2
73154500-6465-49e7-8a5f-cc2eab1bd658.jpg
赞一下(1人) 回复此楼
头疼
9楼2016-07-20 11:31:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

寄居灰

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
18楼: Originally posted by hihxl1 at 2016-07-22 07:47:59
不上压环，你是用何种方式固定的？
...

不用固定，正常放着就行

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
19楼2016-07-22 08:14:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
把罩上上，可能影响场的分布

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2016-07-19 23:12:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
功率降降

发自小木虫Android客户端
回复此楼
3楼2016-07-19 23:13:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

东东那个东

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
hihxl1: 金币+7, ★★★很有帮助, 谢谢！ 2016-07-20 10:37:05
1、检查一下靶材安装是否正确，把头最外面的防护罩与靶材的距离是有讲究的，一般相距2mm，且与靶材是不导通的。
2、靶头原有尺寸不合格，找厂家更换
赞一下 回复此楼
头疼
4楼2016-07-20 09:23:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hihxl1

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lqm070 at 2016-07-19 23:12:22
把罩上上，可能影响场的分布

之前罩过阳极罩，但是可能由于真空度太高了，经常灭弧。我看看再试试提高通气量下的情况。谢谢~
赞一下 回复此楼
新年里我要好好努力！创造新的辉煌！
5楼2016-07-20 10:32:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hihxl1

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lqm070 at 2016-07-19 23:13:08
功率降降

和功率好像没关系。之前试过低功率的情况。~
赞一下 回复此楼
新年里我要好好努力！创造新的辉煌！
6楼2016-07-20 10:33:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hihxl1

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 东东那个东 at 2016-07-20 09:23:53
1、检查一下靶材安装是否正确，把头最外面的防护罩与靶材的距离是有讲究的，一般相距2mm，且与靶材是不导通的。
2、靶头原有尺寸不合格，找厂家更换

1. 安装防护罩后距离靶材的距离约在1.5mm，但是经常灭弧，估计和气压有关。
2. 靶头指的是压环、靶材以及保护罩的尺寸不合适吗？
赞一下 回复此楼
新年里我要好好努力！创造新的辉煌！
7楼2016-07-20 10:37:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

追梦少年2015

铁虫 (初入文坛)
靶材都碎了，功率过高了吧

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
10楼2016-07-20 11:40:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 hihxl1 的主题更新
201/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +55 医学老男孩 2026-08-13 123/6150 2026-08-19 23:44 by stan_et
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +13 kkkl_v 2026-08-19 13/650 2026-08-19 22:37 by 宝贝虫子
[基金申请] 时间戳变了，能看出什么问题？ +12 基诺咪客 2026-08-17 16/800 2026-08-19 22:04 by kk 的小木虫
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +11 ziyangfang 2026-08-19 13/650 2026-08-19 21:28 by aasahr
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低？主要原因有哪些？ +5 瞬息宇宙 2026-08-15 5/250 2026-08-19 20:23 by super2002521
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +4 yuleib84 2026-08-19 5/250 2026-08-19 19:52 by hhs666
[基金申请] 今天放榜吗？ +14 布布和一二 2026-08-19 15/750 2026-08-19 18:07 by gltch
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +10 wangze12014 2026-08-14 12/600 2026-08-19 16:56 by 苦难博士
[基金申请] 2027广东省杰青 +4 奶牛小黑 2026-08-15 10/500 2026-08-19 11:02 by wanfengnew
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 快农历七夕节了，轻松一下，男人悄悄话，女施主请不要进来。 +6 Tide man 2026-08-14 7/350 2026-08-19 09:56 by ZJTJZ
[基金申请] 什么时候开奖？ +6 CrisMessi 2026-08-18 6/300 2026-08-19 08:06 by Equinoxhua
[基金申请] 重要消息，中午系统在维护 +10 yuleib84 2026-08-18 11/550 2026-08-19 07:30 by 羽毛枫f
[论文投稿] 投稿咨询 +4 wwm09 2026-08-17 6/300 2026-08-18 15:36 by wwm09
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？ +13 Ldrop2023 2026-08-13 16/800 2026-08-18 12:25 by 淀粉搬运工
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[精细化工] 招聘 金属平磨液，抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
[基金申请] 各位道友，我要去昆明玩几天，回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭