| 查看: 2713 | 回复: 19 | |||
hihxl1木虫 (正式写手)
|
[求助]
射频磁控溅射薄膜成分问题 已有1人参与
|
||
|
1. 基本描述： 靶材为MoS2、SiO2等非导电（导电能力弱）的靶材，直径100mm。射频溅射电源起辉，气压0.8Pa，功率300W。 溅射系统：前期采用单极脉冲磁控溅射时，靶材通过压环固定于阴极上，外部有一阳极罩。采用射频电源后将阳极罩去掉不用，直接以图1的方式起辉镀膜。 2. 问题描述及分析： 薄膜成分通过能谱仪测试后，发现薄膜除靶材元素外，一直能够检测到Fe、Cr等污染元素，分析是由于压环（不锈钢）溅射引起的。 如何避免来自压环的溅射，减小甚至消除污染元素来源？  图2 起辉照片.png  图1 射频溅射起辉时靶材的原始状态.jpg |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
无聊看看时间戳打发时间
已经有3人回复
-
基于自然哲学类比的风化壳型稀土矿
已经有14人回复
-
国自然申请五篇代表作大比拼，感觉这个是最重要的
已经有7人回复
-
评委有多少概率知道其他专家手中有哪些人的本子？
已经有6人回复
-
求推荐期刊，重谢
已经有3人回复
-
职称论文投稿
已经有7人回复
-
中！中！中！
已经有4人回复
-
E0414, 我的本子有没有希望？
已经有17人回复
-
青A35岁以下通知答辩了吗
已经有4人回复
-
小城的小雨
已经有3人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射镀的ZTO薄膜不导电
已经有15人回复
- 2012年深圳大学资助项目清单
已经有7人回复
- 【交流】有关等离子体的概念
已经有13人回复
17楼2016-07-21 22:45:46
8楼2016-07-20 10:39:14
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
hihxl1: 金币+7, ★★★很有帮助, 你最后的图片说明，您们做纯ZnO也出现Al元素污染？还是做ZAO薄膜呀？没明白~ 2016-07-20 15:40:44
hihxl1: 金币+7, ★★★很有帮助, 你最后的图片说明，您们做纯ZnO也出现Al元素污染？还是做ZAO薄膜呀？没明白~ 2016-07-20 15:40:44
|
靶头的防护罩与靶材间距离在您购买仪器时说明书应该说到，说明书上没有，您应该让销售方给您问清楚。 经常灭弧，1、靶头和防护罩间距小了，产生不了高压差 2、真空度太低，产生不了足够的等离子体轰击靶材（您的检测真空计检测的不是真实的腔体真空度，很多人认为泵上面显示真空度是腔体真空度，那是错的。） 3、靶头中的靶材与靶头的极板接触不良，使其闪弧或射频调很大才出弧。 我们这边的靶头在采购来时都要试用多次才能判断是不是能用，但是很少去测溅射下来的样品成分，一般在靶台的周边有点杂质是不计入的 ，控制基底的大小也需要去摸索。 这是我们做的氧化锌。  73154500-6465-49e7-8a5f-cc2eab1bd658.jpg |
9楼2016-07-20 11:31:27
19楼2016-07-22 08:14:11
2楼2016-07-19 23:12:22
3楼2016-07-19 23:13:08
4楼2016-07-20 09:23:53
hihxl1
木虫 (正式写手)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 2355.1
- 散金: 63
- 红花: 1
- 帖子: 467
- 在线: 112.4小时
- 虫号: 1109930
- 注册: 2010-09-28
- 性别: GG
- 专业: 金属材料的微观结构
5楼2016-07-20 10:32:53
hihxl1
木虫 (正式写手)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 2355.1
- 散金: 63
- 红花: 1
- 帖子: 467
- 在线: 112.4小时
- 虫号: 1109930
- 注册: 2010-09-28
- 性别: GG
- 专业: 金属材料的微观结构
6楼2016-07-20 10:33:52
hihxl1
木虫 (正式写手)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 2355.1
- 散金: 63
- 红花: 1
- 帖子: 467
- 在线: 112.4小时
- 虫号: 1109930
- 注册: 2010-09-28
- 性别: GG
- 专业: 金属材料的微观结构
7楼2016-07-20 10:37:07
10楼2016-07-20 11:40:51