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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 射频磁控溅射薄膜成分问题
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hihxl1

木虫 (正式写手)

[求助] 射频磁控溅射薄膜成分问题 已有1人参与

1. 基本描述：
靶材为MoS2、SiO2等非导电（导电能力弱）的靶材，直径100mm。射频溅射电源起辉，气压0.8Pa，功率300W。
溅射系统：前期采用单极脉冲磁控溅射时，靶材通过压环固定于阴极上，外部有一阳极罩。采用射频电源后将阳极罩去掉不用，直接以图1的方式起辉镀膜。
2. 问题描述及分析：
薄膜成分通过能谱仪测试后，发现薄膜除靶材元素外，一直能够检测到Fe、Cr等污染元素，分析是由于压环（不锈钢）溅射引起的。
如何避免来自压环的溅射，减小甚至消除污染元素来源？

射频磁控溅射薄膜成分问题
图2 起辉照片.png


射频磁控溅射薄膜成分问题-1
图1 射频溅射起辉时靶材的原始状态.jpg
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新年里我要好好努力！创造新的辉煌！
1楼 2016-07-19 15:48:14
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hihxl1

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 东东那个东 at 2016-07-20 09:23:53
1、检查一下靶材安装是否正确，把头最外面的防护罩与靶材的距离是有讲究的，一般相距2mm，且与靶材是不导通的。
2、靶头原有尺寸不合格，找厂家更换

1. 安装防护罩后距离靶材的距离约在1.5mm，但是经常灭弧，估计和气压有关。
2. 靶头指的是压环、靶材以及保护罩的尺寸不合适吗？
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新年里我要好好努力！创造新的辉煌！
7楼2016-07-20 10:37:07
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
把罩上上，可能影响场的分布

发自小木虫Android客户端
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2楼2016-07-19 23:12:22
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
功率降降

发自小木虫Android客户端
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3楼2016-07-19 23:13:08
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东东那个东

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
hihxl1: 金币+7, ★★★很有帮助, 谢谢！ 2016-07-20 10:37:05
1、检查一下靶材安装是否正确，把头最外面的防护罩与靶材的距离是有讲究的，一般相距2mm，且与靶材是不导通的。
2、靶头原有尺寸不合格，找厂家更换
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头疼
4楼2016-07-20 09:23:53
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