| 查看: 2480 | 回复: 19 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
hihxl1木虫 (正式写手)
|
[求助]
射频磁控溅射薄膜成分问题 已有1人参与
|
||
|
1. 基本描述： 靶材为MoS2、SiO2等非导电（导电能力弱）的靶材，直径100mm。射频溅射电源起辉，气压0.8Pa，功率300W。 溅射系统：前期采用单极脉冲磁控溅射时，靶材通过压环固定于阴极上，外部有一阳极罩。采用射频电源后将阳极罩去掉不用，直接以图1的方式起辉镀膜。 2. 问题描述及分析： 薄膜成分通过能谱仪测试后，发现薄膜除靶材元素外，一直能够检测到Fe、Cr等污染元素，分析是由于压环（不锈钢）溅射引起的。 如何避免来自压环的溅射，减小甚至消除污染元素来源？  图2 起辉照片.png  图1 射频溅射起辉时靶材的原始状态.jpg |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有5人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有5人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有10人回复
-
球磨粉体时遇到了大的问题，请指教！
已经有13人回复
-
情人节自我反思：在爱情中有过遗憾吗？
已经有5人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有6人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有8人回复
-
江汉大学解明教授课题组招博士研究生/博士后
已经有3人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射镀的ZTO薄膜不导电
已经有15人回复
- 2012年深圳大学资助项目清单
已经有7人回复
- 【交流】有关等离子体的概念
已经有13人回复
4楼2016-07-20 09:23:53
2楼2016-07-19 23:12:22
3楼2016-07-19 23:13:08
hihxl1
木虫 (正式写手)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 2355.1
- 散金: 63
- 红花: 1
- 帖子: 467
- 在线: 112.4小时
- 虫号: 1109930
- 注册: 2010-09-28
- 性别: GG
- 专业: 金属材料的微观结构
5楼2016-07-20 10:32:53