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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 射频磁控溅射薄膜成分问题
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东东那个东

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
10楼: Originally posted by 追梦少年2015 at 2016-07-20 11:40:51
靶材都碎了，功率过高了吧

也有可能靶材薄了，
楼主看来是生气了，起辉不正常是很闹心的。
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头疼
11楼2016-07-20 11:49:21
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hihxl1

木虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by lqm070 at 2016-07-20 10:39:14
灭弧来源于功率不稳或低，加大气流可以或低功率缓升，对材料起始太大，稳定会会好点，再有表皮可能也有影响

谢谢，你说的表皮影响指的是表面污染物或类似中毒的情况？
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新年里我要好好努力！创造新的辉煌！
12楼2016-07-20 15:33:23
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lqm070
对

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13楼2016-07-20 15:34:43
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hihxl1

木虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 追梦少年2015 at 2016-07-20 11:40:51
靶材都碎了，功率过高了吧

靶材是以前脉冲电源使用时候碎的，射频的时候功率高低都存在污染元素。
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14楼2016-07-20 15:36:43
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hihxl1

木虫 (正式写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by 东东那个东 at 2016-07-20 11:49:21
也有可能靶材薄了，
楼主看来是生气了，起辉不正常是很闹心的。...

靶材是之前脉冲电源用坏的
起辉到不是特别的问题，主要是成分不纯。。。没法进行后续的试验了。由于成分不纯，薄膜颜色都是黑色的，不知道是不是污染元素的影响。
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15楼2016-07-20 15:47:48
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东东那个东

金虫 (正式写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by hihxl1 at 2016-07-20 15:47:48
靶材是之前脉冲电源用坏的
起辉到不是特别的问题，主要是成分不纯。。。没法进行后续的试验了。由于成分不纯，薄膜颜色都是黑色的，不知道是不是污染元素的影响。...

这是很有可能的
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头疼
16楼2016-07-20 17:04:50
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寄居灰

新虫 (初入文坛)
不罩罩子不是会溅射到压环么，我自己做都不上固定压环的，因为以前上了压环总是会有压环中的元素溅射到薄膜中

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17楼2016-07-21 22:45:46
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hihxl1

木虫 (正式写手)
引用回帖:
17楼: Originally posted by 寄居灰 at 2016-07-21 22:45:46
不罩罩子不是会溅射到压环么，我自己做都不上固定压环的，因为以前上了压环总是会有压环中的元素溅射到薄膜中

不上压环，你是用何种方式固定的？

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18楼2016-07-22 07:47:59
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寄居灰

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
18楼: Originally posted by hihxl1 at 2016-07-22 07:47:59
不上压环，你是用何种方式固定的？
...

不用固定，正常放着就行

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19楼2016-07-22 08:14:11
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东东那个东

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
19楼: Originally posted by 寄居灰 at 2016-07-22 08:14:11
不用固定，正常放着就行
...

不上压环会使靶材和阴极接触产生间隙，导致起辉不正常的，虽然压环会有元素污染靶材，但是那只是很少的，靶头的防护一般有两个作用
1、充当阳极
2、阻挡压环以及靶头内其他部位产生的污染物，一般污染物都带有电子，会在防护罩上沉积，
你经常溅射可以看到，主要沉积粒子都是来自于靶材，如果自身靶材有问题那就肯定不行了，
1、靶材中毒
2、靶材碎裂，在碎裂间隙产生薄厚甚至间隙，会导致溅射下来的薄膜上存在其他元素
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头疼
20楼2016-07-22 10:15:11
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