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小小方大李李铜虫 (初入文坛)
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磁控溅射镀锌膜镀不上去?急!!! 已有1人参与
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| 我用的锌靶材在石英玻璃上做直流溅射(65W)和射频溅射(90W),没有通氧气,只通了氩气,都没有镀上去,没有任何颜色,没有电阻,但是在用直流溅射时通了1.0氧气就可以镀上一层黑色的薄膜,猜测是锌膜,求问大神们这是为什么?? |
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什么东西可以做磁控溅射的靶材?
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2楼2016-05-31 07:19:56
wiseroy
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3楼2016-05-31 07:53:16
xiaofeng-wang
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纯锌肯定是可以沉积的,是不是靶基距不合适?或者功率太低,没起辉?薄一点的话,应该是无色透明的。氧化锌也是透明的,发黑应该和靶有关系,洗一下靶,表面杂质问题,还有一个可能是真空有问题,可能漏气。 发自小木虫IOS客户端 |

4楼2016-05-31 08:49:12
小小方大李李
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5楼2016-05-31 08:55:00
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6楼2016-05-31 08:55:39
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7楼2016-05-31 09:01:07
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9楼2016-05-31 09:17:59
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10楼2016-05-31 20:28:51











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