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小小方大李李铜虫 (初入文坛)
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[求助]
磁控溅射镀锌膜镀不上去？急！！！ 已有1人参与
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| 我用的锌靶材在石英玻璃上做直流溅射（65W）和射频溅射(90W)，没有通氧气，只通了氩气，都没有镀上去，没有任何颜色，没有电阻，但是在用直流溅射时通了1.0氧气就可以镀上一层黑色的薄膜，猜测是锌膜，求问大神们这是为什么？？ |
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小小方大李李
铜虫 (初入文坛)
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7楼2016-05-31 09:01:07
2楼2016-05-31 07:19:56
wiseroy
木虫 (著名写手)
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3楼2016-05-31 07:53:16
xiaofeng-wang
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纯锌肯定是可以沉积的，是不是靶基距不合适？或者功率太低，没起辉？薄一点的话，应该是无色透明的。氧化锌也是透明的，发黑应该和靶有关系，洗一下靶，表面杂质问题，还有一个可能是真空有问题，可能漏气。 发自小木虫IOS客户端 |
4楼2016-05-31 08:49:12
