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小小方大李李

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀锌膜镀不上去?急!!! 已有1人参与

我用的锌靶材在石英玻璃上做直流溅射(65W)和射频溅射(90W),没有通氧气,只通了氩气,都没有镀上去,没有任何颜色,没有电阻,但是在用直流溅射时通了1.0氧气就可以镀上一层黑色的薄膜,猜测是锌膜,求问大神们这是为什么??
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xiaofeng-wang

铁杆木虫 (著名写手)

纯锌肯定是可以沉积的,是不是靶基距不合适?或者功率太低,没起辉?薄一点的话,应该是无色透明的。氧化锌也是透明的,发黑应该和靶有关系,洗一下靶,表面杂质问题,还有一个可能是真空有问题,可能漏气。

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呼市虫子在深圳创造奇迹!
4楼2016-05-31 08:49:12
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Friend007

银虫 (知名作家)


靶材尺寸多大,溅射时间多长?

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2楼2016-05-31 07:19:56
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步

善良
3楼2016-05-31 07:53:16
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小小方大李李

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-05-31 07:19:56
靶材尺寸多大,溅射时间多长?

3英寸*3mm,射频溅射1.5h,直流溅射0.5小时
~
5楼2016-05-31 08:55:00
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