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小小方大李李

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀锌膜镀不上去?急!!!已有1人参与

我用的锌靶材在石英玻璃上做直流溅射(65W)和射频溅射(90W),没有通氧气,只通了氩气,都没有镀上去,没有任何颜色,没有电阻,但是在用直流溅射时通了1.0氧气就可以镀上一层黑色的薄膜,猜测是锌膜,求问大神们这是为什么??
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Friend007

银虫 (知名作家)


靶材尺寸多大,溅射时间多长?

发自小木虫Android客户端
2楼2016-05-31 07:19:56
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Friend007

银虫 (知名作家)


引用回帖:
7楼: Originally posted by 小小方大李李 at 2016-05-31 09:01:07
靶基距用的是那种带凹槽的盖子,用的最小的凹槽,目测有3~4mm,靶材表面因为用直流的原因有些发黑,做之前已经用砂纸打磨过了,真空度也是保持在5*10-4 pa下才开始镀的...

靶基距3-4mm?

发自小木虫Android客户端
12楼2016-05-31 20:34:07
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Friend007

银虫 (知名作家)


引用回帖:
7楼: Originally posted by 小小方大李李 at 2016-05-31 09:01:07
靶基距用的是那种带凹槽的盖子,用的最小的凹槽,目测有3~4mm,靶材表面因为用直流的原因有些发黑,做之前已经用砂纸打磨过了,真空度也是保持在5*10-4 pa下才开始镀的...

靶基距3-4mm?有点短

发自小木虫Android客户端
13楼2016-06-01 07:18:24
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