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小小方大李李

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀锌膜镀不上去?急!!!已有1人参与

我用的锌靶材在石英玻璃上做直流溅射(65W)和射频溅射(90W),没有通氧气,只通了氩气,都没有镀上去,没有任何颜色,没有电阻,但是在用直流溅射时通了1.0氧气就可以镀上一层黑色的薄膜,猜测是锌膜,求问大神们这是为什么??
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小小方大李李

铜虫 (初入文坛)

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2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-05-31 07:19:56
靶材尺寸多大,溅射时间多长?

3英寸*3mm,射频溅射1.5h,直流溅射0.5小时
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5楼2016-05-31 08:55:00
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小小方大李李

铜虫 (初入文坛)

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3楼: Originally posted by wiseroy at 2016-05-31 07:53:16
辉光?

有粉紫色的光
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6楼2016-05-31 08:55:39
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小小方大李李

铜虫 (初入文坛)

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4楼: Originally posted by xiaofeng-wang at 2016-05-31 08:49:12
纯锌肯定是可以沉积的,是不是靶基距不合适?或者功率太低,没起辉?薄一点的话,应该是无色透明的。氧化锌也是透明的,发黑应该和靶有关系,洗一下靶,表面杂质问题,还有一个可能是真空有问题,可能漏气。
...

靶基距用的是那种带凹槽的盖子,用的最小的凹槽,目测有3~4mm,靶材表面因为用直流的原因有些发黑,做之前已经用砂纸打磨过了,真空度也是保持在5*10-4 pa下才开始镀的
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7楼2016-05-31 09:01:07
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小小方大李李

铜虫 (初入文坛)

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8楼: Originally posted by 张杨翠 at 2016-05-31 09:17:18
气压呢?

气压0.7

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10楼2016-05-31 20:28:51
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小小方大李李

铜虫 (初入文坛)

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9楼: Originally posted by 张杨翠 at 2016-05-31 09:17:59
还有你的膜厚仪显示的速率?

膜厚仪有问题,测不了

发自小木虫Android客户端
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11楼2016-05-31 20:29:22
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