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小小方大李李

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
9楼: Originally posted by 张杨翠 at 2016-05-31 09:17:59
还有你的膜厚仪显示的速率?

膜厚仪有问题,测不了

发自小木虫Android客户端
~
11楼2016-05-31 20:29:22
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Friend007

银虫 (知名作家)


引用回帖:
7楼: Originally posted by 小小方大李李 at 2016-05-31 09:01:07
靶基距用的是那种带凹槽的盖子,用的最小的凹槽,目测有3~4mm,靶材表面因为用直流的原因有些发黑,做之前已经用砂纸打磨过了,真空度也是保持在5*10-4 pa下才开始镀的...

靶基距3-4mm?

发自小木虫Android客户端
12楼2016-05-31 20:34:07
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Friend007

银虫 (知名作家)


引用回帖:
7楼: Originally posted by 小小方大李李 at 2016-05-31 09:01:07
靶基距用的是那种带凹槽的盖子,用的最小的凹槽,目测有3~4mm,靶材表面因为用直流的原因有些发黑,做之前已经用砂纸打磨过了,真空度也是保持在5*10-4 pa下才开始镀的...

靶基距3-4mm?有点短

发自小木虫Android客户端
13楼2016-06-01 07:18:24
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可能是电压不够(电压偏低)
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
14楼2016-06-01 15:46:25
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朔朔朔朔

新虫 (小有名气)

您好,请问您的问题解决了吗,我们也出现了这种问题,靶材的辉光是粉紫色的,镀出来的膜是彩色的,以前正常情况下是蓝色的辉光
15楼2018-07-07 09:53:55
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