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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射镀锌膜镀不上去？急！！！
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小小方大李李

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 张杨翠 at 2016-05-31 09:17:59
还有你的膜厚仪显示的速率？

膜厚仪有问题，测不了

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~
11楼2016-05-31 20:29:22
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 小小方大李李 at 2016-05-31 09:01:07
靶基距用的是那种带凹槽的盖子，用的最小的凹槽，目测有3~4mm，靶材表面因为用直流的原因有些发黑，做之前已经用砂纸打磨过了，真空度也是保持在5*10-4 pa下才开始镀的...

靶基距3-4mm？

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12楼2016-05-31 20:34:07
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 小小方大李李 at 2016-05-31 09:01:07
靶基距用的是那种带凹槽的盖子，用的最小的凹槽，目测有3~4mm，靶材表面因为用直流的原因有些发黑，做之前已经用砂纸打磨过了，真空度也是保持在5*10-4 pa下才开始镀的...

靶基距3-4mm？有点短

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13楼2016-06-01 07:18:24
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可能是电压不够(电压偏低)
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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
14楼2016-06-01 15:46:25
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朔朔朔朔

新虫 (小有名气)
您好，请问您的问题解决了吗，我们也出现了这种问题，靶材的辉光是粉紫色的，镀出来的膜是彩色的，以前正常情况下是蓝色的辉光
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15楼2018-07-07 09:53:55
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