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小小方大李李

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀锌膜镀不上去?急!!!已有1人参与

我用的锌靶材在石英玻璃上做直流溅射(65W)和射频溅射(90W),没有通氧气,只通了氩气,都没有镀上去,没有任何颜色,没有电阻,但是在用直流溅射时通了1.0氧气就可以镀上一层黑色的薄膜,猜测是锌膜,求问大神们这是为什么??
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朔朔朔朔

新虫 (小有名气)

您好,请问您的问题解决了吗,我们也出现了这种问题,靶材的辉光是粉紫色的,镀出来的膜是彩色的,以前正常情况下是蓝色的辉光
15楼2018-07-07 09:53:55
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