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小小方大李李

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀锌膜镀不上去?急!!!已有1人参与

我用的锌靶材在石英玻璃上做直流溅射(65W)和射频溅射(90W),没有通氧气,只通了氩气,都没有镀上去,没有任何颜色,没有电阻,但是在用直流溅射时通了1.0氧气就可以镀上一层黑色的薄膜,猜测是锌膜,求问大神们这是为什么??
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张杨翠

铁虫 (正式写手)

8楼2016-05-31 09:17:18
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张杨翠

铁虫 (正式写手)

还有你的膜厚仪显示的速率?

发自小木虫Android客户端
9楼2016-05-31 09:17:59
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