| 查看: 1475 | 回复: 10 | |||
[求助]
什么设备长二氧化硅质量好且厚度可控（超材料介质层） 已有2人参与
|
|
大家好～ 我想要在金上长二氧化硅，需要致密性好一些，厚需要20㎚，长出来差别在1-2nm以内，请问什么设备比较适合？ 有电子束蒸发:100℃，老师说厚度可控，均匀，但是质量不太好。 PECVD:致密，均匀性不如电子束蒸发，厚度也难控制。 还有就是ICPCVD:这个温度也低，长的估计也不好。厚度比PECVD可调一些。 二氧化硅是用作超材料的介质层。 [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
回复此楼» 猜你喜欢
罕见病药小批量生产，高腐蚀工况下钽衬里是否最优解？
已经有0人回复
-
冶金新晋博导招生
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有297人回复
-
求调剂
已经有7人回复
-
燕山大学先进结构材料团队招收金属材料相关方向 2026年硕士研究生
已经有0人回复
-
高温合金厂家
已经有0人回复
-
安徽工业大学新能源金属团队招收2026级硕士调剂
已经有0人回复
-
2026年江西理工大学材料、化工与冶金-招收2名调剂生（材料、冶金、环境、化工专业）
已经有0人回复
-
硝酸腐蚀与钽表面合金技术防护
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 【公告】微米纳米版专家介绍及顾问室链接[20120909更新]
已经有11人回复
niusj
至尊木虫 (著名写手)
我就是饺子，我为自己代言！！
- 应助: 59 (初中生)
- 贵宾: 0.168
- 金币: 16198.4
- 散金: 667
- 红花: 54
- 沙发: 2
- 帖子: 1651
- 在线: 361.5小时
- 虫号: 1724664
- 注册: 2012-03-29
- 专业: 无机非金属基复合材料
2楼2015-12-15 17:57:16
3楼2015-12-15 18:56:02
niusj
至尊木虫 (著名写手)
我就是饺子，我为自己代言！！
- 应助: 59 (初中生)
- 贵宾: 0.168
- 金币: 16198.4
- 散金: 667
- 红花: 54
- 沙发: 2
- 帖子: 1651
- 在线: 361.5小时
- 虫号: 1724664
- 注册: 2012-03-29
- 专业: 无机非金属基复合材料
4楼2015-12-15 19:39:54
niusj
至尊木虫 (著名写手)
我就是饺子，我为自己代言！！
- 应助: 59 (初中生)
- 贵宾: 0.168
- 金币: 16198.4
- 散金: 667
- 红花: 54
- 沙发: 2
- 帖子: 1651
- 在线: 361.5小时
- 虫号: 1724664
- 注册: 2012-03-29
- 专业: 无机非金属基复合材料
5楼2015-12-15 19:40:20
6楼2015-12-15 21:10:18
niusj
至尊木虫 (著名写手)
我就是饺子，我为自己代言！！
- 应助: 59 (初中生)
- 贵宾: 0.168
- 金币: 16198.4
- 散金: 667
- 红花: 54
- 沙发: 2
- 帖子: 1651
- 在线: 361.5小时
- 虫号: 1724664
- 注册: 2012-03-29
- 专业: 无机非金属基复合材料
7楼2015-12-15 21:45:10
wanghuaxing 
禁虫 (小有名气)
|
本帖内容被屏蔽 |
8楼2015-12-16 23:07:23
9楼2015-12-17 07:19:41
franckchen 
银虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 188.7
- 散金: 180
- 帖子: 125
- 在线: 19.4小时
- 虫号: 2760475
- 注册: 2013-10-28
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
10楼2015-12-17 09:45:16
