| 查看: 1628 | 回复: 10 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
什么设备长二氧化硅质量好且厚度可控（超材料介质层） 已有2人参与
|
|||
|
大家好～ 我想要在金上长二氧化硅，需要致密性好一些，厚需要20㎚，长出来差别在1-2nm以内，请问什么设备比较适合？ 有电子束蒸发:100℃，老师说厚度可控，均匀，但是质量不太好。 PECVD:致密，均匀性不如电子束蒸发，厚度也难控制。 还有就是ICPCVD:这个温度也低，长的估计也不好。厚度比PECVD可调一些。 二氧化硅是用作超材料的介质层。 [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
回复此楼» 猜你喜欢
论文《提拉法生长铜单晶与铜单晶衬底制备研究》求助
已经有0人回复
-
咨询 27 热电材料方向申博
已经有2人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有297人回复
-
吉布斯自用能变、平衡常数、活度/分压计算
已经有7人回复
-
关于高温真空制备氧化亚硅（SiOx、SiO）的技术交流。
已经有0人回复
-
重磅分享｜全链路AI材料研发闭环平台PULSE即将发布，重构新材料研发范式
已经有888人回复
-
Introduction to Surface Chemistry and Catalysis 第一版
已经有2人回复
-
2027申博自推荐帖
已经有0人回复
-
2026年新加坡访问学者交流
已经有0人回复
-
2026年新加坡访问学者交流
已经有0人回复
-
感恩，金币虽然不多，全部散尽，感恩
已经有382人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 【公告】微米纳米版专家介绍及顾问室链接[20120909更新]
已经有11人回复
wanghuaxing 
禁虫 (小有名气)
|
本帖内容被屏蔽 |
8楼2015-12-16 23:07:23
niusj
至尊木虫 (著名写手)
我就是饺子，我为自己代言！！
- 应助: 59 (初中生)
- 贵宾: 0.168
- 金币: 16198.4
- 散金: 667
- 红花: 54
- 沙发: 2
- 帖子: 1651
- 在线: 361.5小时
- 虫号: 1724664
- 注册: 2012-03-29
- 专业: 无机非金属基复合材料
2楼2015-12-15 17:57:16
3楼2015-12-15 18:56:02
niusj
至尊木虫 (著名写手)
我就是饺子，我为自己代言！！
- 应助: 59 (初中生)
- 贵宾: 0.168
- 金币: 16198.4
- 散金: 667
- 红花: 54
- 沙发: 2
- 帖子: 1651
- 在线: 361.5小时
- 虫号: 1724664
- 注册: 2012-03-29
- 专业: 无机非金属基复合材料
4楼2015-12-15 19:39:54
30