24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1479  |  回复: 10
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

木有一只

新虫 (初入文坛)

[求助] 什么设备长二氧化硅质量好且厚度可控(超材料介质层) 已有2人参与

大家好~
我想要在金上长二氧化硅,需要致密性好一些,厚需要20㎚,长出来差别在1-2nm以内,请问什么设备比较适合?
有电子束蒸发:100℃,老师说厚度可控,均匀,但是质量不太好。
PECVD:致密,均匀性不如电子束蒸发,厚度也难控制。
还有就是ICPCVD:这个温度也低,长的估计也不好。厚度比PECVD可调一些。
二氧化硅是用作超材料的介质层。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

木有一只

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by niusj at 2015-12-15 19:40:20
你说的那俩设备我没用过...

好吧,谢谢你~

发自小木虫Android客户端
6楼2015-12-15 21:10:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

niusj

至尊木虫 (著名写手)

我就是饺子,我为自己代言!!

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
mocvd试过没,不过水热反应釜我用过,可以做到纳米级
Everyone is the architect of his own fortune.
2楼2015-12-15 17:57:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

木有一只

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by niusj at 2015-12-15 17:57:16
mocvd试过没,不过水热反应釜我用过,可以做到纳米级

没有这个设备……

发自小木虫Android客户端
3楼2015-12-15 18:56:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

niusj

至尊木虫 (著名写手)

我就是饺子,我为自己代言!!

引用回帖:
3楼: Originally posted by 木有一只 at 2015-12-15 18:56:02
没有这个设备……
...

额,那我就不清楚了
Everyone is the architect of his own fortune.
4楼2015-12-15 19:39:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085404,334分,求调剂 +5 sunjie8888 2026-04-08 7/350 2026-04-09 07:25 by sunjie8888
[考研] 086000调剂 +3 十七sa 2026-04-07 3/150 2026-04-08 23:58 by GouQ
[考研] 调剂 +4 osbbx 2026-04-02 4/200 2026-04-08 22:52 by may_新宇
[考研] 求机械专硕297第二批调剂 +3 拾柒12。 2026-04-08 3/150 2026-04-08 22:25 by laoshidan
[考研] 材料化工总分334求调剂 +7 Riot2025 2026-04-08 7/350 2026-04-08 20:15 by luoyongfeng
[考研] 324求调剂 +17 想上学求调 2026-04-03 17/850 2026-04-08 20:04 by 我减肥1
[考研] 生物学308分求调剂(一志愿华东师大)做过分子实验 +6 相信必会光芒万 2026-04-07 7/350 2026-04-08 16:49 by tjzhao
[考研] 化学0703-一志愿211-338分求调剂 +10 vants 2026-04-05 11/550 2026-04-08 16:02 by screening
[考研] 材料专硕322分 +12 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-02 12/600 2026-04-08 11:43 by 1753564080
[考研] 336求调剂,一志愿中科大 +9 墨彧 yuyu 2026-04-06 9/450 2026-04-08 11:24 by 想读书的菌菌
[考研] 一志愿苏州大学材料工程(085601)专硕有科研经历三项国奖两个实用型专利一项省级立项 +11 大火山小火山 2026-04-05 11/550 2026-04-06 22:55 by yunlongyang
[考研] 生物学求调剂 一志愿沪9,326分 +6 刘墨墨 2026-04-06 6/300 2026-04-06 19:36 by lijunpoly
[考研] (调剂)一志愿报考哈尔滨工业大学0857资源与环境专业378分考生 +7 狠狠加油 2026-04-05 8/400 2026-04-06 16:52 by momo皓
[考研] 第一志愿东南大学物理313,有科研竞赛获奖经历,希望物理复试调剂 +3 马内橙 2026-04-05 3/150 2026-04-06 10:32 by 蓝云思雨
[考研] 286求调剂 +3 草木不言 2026-04-04 3/150 2026-04-04 22:40 by lbsjt
[考研] 求调剂 +4 晟功? 2026-04-03 4/200 2026-04-04 21:58 by hemengdong
[考研] 11408 一志愿西电,277分求调剂 +4 zhouzhen654 2026-04-03 4/200 2026-04-04 18:10 by 猪会飞
[考研] 怎么删帖子啊 +3 缝曦1000 2026-04-04 3/150 2026-04-04 14:20 by 土木硕士招生
[考研] 一志愿沪985,326分求调剂 +3 刘墨墨 2026-04-03 3/150 2026-04-04 11:16 by 悲伤的芋头
[考研] 346求调剂 +5 郑诚乐 2026-04-02 5/250 2026-04-02 16:38 by SZW_UJN
信息提示
请填处理意见