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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 去除光刻胶上电极
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912694096

铜虫 (正式写手)

[求助] 去除光刻胶上电极 已有2人参与

各位亲，，

第一步：将光刻胶旋涂在硅片衬底上；第二步：在光刻胶上磁控溅射Au和Cr；第三步，泡在丙酮里去除在光刻胶上的金和铬；

发现：几个微米级别的很小的金和铬去不掉；

问题：还可以怎样去除？

结构从上到下为Au，Cr，光刻胶，SiO2，Si片
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1楼 2015-11-18 21:31:50
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用图来说话。
你确认那个微米级别的金和铬下面是光刻胶？？？
这个情况你要告诉大家你用的是什么胶，否则不好判断。
你可以用NMP试试，做的时候要做好保护。
如果你的器件不怕碱的话，也可以用浓度高一些的碱液。
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4楼2015-11-19 14:15:06
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
912694096: 金币+5 2015-11-20 14:03:21
你用lift off工艺的时候丙酮里会有金属污染的，本来就不会太干净。
可以先镀两层金属膜，然后光刻图形，干法刻掉不要的金属，这样干净

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2楼2015-11-19 00:41:53
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普通回帖

912694096

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2015-11-19 00:41:53
你用lift off工艺的时候丙酮里会有金属污染的，本来就不会太干净。
可以先镀两层金属膜，然后光刻图形，干法刻掉不要的金属，这样干净

干法是等离子体刻蚀吗
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3楼2015-11-19 14:06:28
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912694096

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2015-11-19 14:15:06
用图来说话。
你确认那个微米级别的金和铬下面是光刻胶？？？
这个情况你要告诉大家你用的是什么胶，否则不好判断。
你可以用NMP试试，做的时候要做好保护。
如果你的器件不怕碱的话，也可以用浓度高一些的碱液 ...

确定因为是先涂了光刻胶
我用的胶是S1805
另外，，，NMP是什么
赞一下 回复此楼
5楼2015-11-19 22:52:56
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 912694096 at 2015-11-19 14:06:28
干法是等离子体刻蚀吗...

是等离子体干法刻蚀。公司做产品都是先沉积膜再刻蚀，比较干净。

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6楼2015-11-20 00:40:06
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 912694096 at 2015-11-19 22:52:56
确定因为是先涂了光刻胶
我用的胶是S1805
另外，，，NMP是什么...

怎么能用1805来做lift off呢？要么用负胶，要么用双层胶。
NMP就是NMP，去胶液的主要成分。
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7楼2015-11-20 17:20:32
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912694096

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2015-11-20 17:20:32
怎么能用1805来做lift off呢？要么用负胶，要么用双层胶。
NMP就是NMP，去胶液的主要成分。...

哦哦
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8楼2015-11-21 13:05:07
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xmji

铁杆木虫 (小有名气)
标准lift-off工艺
如果就是实验室做样品
没那么复杂

超声或者加热一下
几个微米的线条
很容易作

不行
康宁有专门做lift-off的胶
可以跟他们要点样
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9楼2015-11-22 00:17:50
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小不忍则乱大谋

银虫 (正式写手)
帮不上你的忙，问你一个问题，镀Cr时需要注意什么问题吗？一般镀多厚？我从没接触过镀膜，最近想给自己的一个样品上镀电极，看网上写着先要镀一层Cr或Ti。
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10楼2015-12-03 16:42:54
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