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去除光刻胶上电极 已有2人参与
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各位亲，， 第一步：将光刻胶旋涂在硅片衬底上；第二步：在光刻胶上磁控溅射Au和Cr；第三步，泡在丙酮里去除在光刻胶上的金和铬； 发现：几个微米级别的很小的金和铬去不掉； 问题：还可以怎样去除？ 结构从上到下为Au，Cr，光刻胶，SiO2，Si片 |
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 光刻 |
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7楼2015-11-20 17:20:32