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去除光刻胶上电极 已有2人参与
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各位亲，， 第一步：将光刻胶旋涂在硅片衬底上；第二步：在光刻胶上磁控溅射Au和Cr；第三步，泡在丙酮里去除在光刻胶上的金和铬； 发现：几个微米级别的很小的金和铬去不掉； 问题：还可以怎样去除？ 结构从上到下为Au，Cr，光刻胶，SiO2，Si片 |
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 光刻 |
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5楼2015-11-19 22:52:56
dorrnm
金虫 (小有名气)
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【答案】应助回帖
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912694096: 金币+5 2015-11-20 14:03:21
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912694096: 金币+5 2015-11-20 14:03:21
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你用lift off工艺的时候丙酮里会有金属污染的，本来就不会太干净。 可以先镀两层金属膜，然后光刻图形，干法刻掉不要的金属，这样干净 发自小木虫Android客户端 |
2楼2015-11-19 00:41:53
3楼2015-11-19 14:06:28
yswyx 
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4楼2015-11-19 14:15:06
40