| 查看: 2812 | 回复: 14 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
去除光刻胶上电极 已有2人参与
|
|||
|
各位亲，， 第一步：将光刻胶旋涂在硅片衬底上；第二步：在光刻胶上磁控溅射Au和Cr；第三步，泡在丙酮里去除在光刻胶上的金和铬； 发现：几个微米级别的很小的金和铬去不掉； 问题：还可以怎样去除？ 结构从上到下为Au，Cr，光刻胶，SiO2，Si片 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 光刻 |
» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有105人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 用廉价的铜布线实现大尺寸触摸面板
已经有5人回复
9楼2015-11-22 00:17:50
dorrnm
金虫 (小有名气)
- 应助: 35 (小学生)
- 金币: 1155.8
- 红花: 6
- 帖子: 125
- 在线: 54.4小时
- 虫号: 2061367
- 注册: 2012-10-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
912694096: 金币+5 2015-11-20 14:03:21
感谢参与，应助指数 +1
912694096: 金币+5 2015-11-20 14:03:21
|
你用lift off工艺的时候丙酮里会有金属污染的，本来就不会太干净。 可以先镀两层金属膜，然后光刻图形，干法刻掉不要的金属，这样干净 发自小木虫Android客户端 |
2楼2015-11-19 00:41:53
3楼2015-11-19 14:06:28
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
4楼2015-11-19 14:15:06