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wmchpu

金虫 (小有名气)

[求助] 国内有哪些地发可以做钝化层或介质层的刻蚀? 已有2人参与

已经流片回来的芯片,光电器件,钝化层和介质层较厚,影响性能,想要刻蚀掉钝化层和介质层,请问国内有哪些地方可以做这种刻蚀呢?
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
腐蚀不好控制,这个需要CMP吧
2楼2015-10-25 07:49:46
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wmchpu

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2015-10-25 07:49:46
腐蚀不好控制,这个需要CMP吧

不是刻蚀所有的钝化层和介质层,是只刻蚀掉一部分器件上方的,这样的话CMP没法做吧?
3楼2015-10-26 09:29:21
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

腐蚀很深的孔,不是很好控制,侧壁和底部都容易出问题。如果钝化层不需要那么厚,可以先CMP再开窗。这是标准的后道工艺。
4楼2015-10-26 12:48:24
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wmchpu

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by reninhat at 2015-10-26 12:48:24
腐蚀很深的孔,不是很好控制,侧壁和底部都容易出问题。如果钝化层不需要那么厚,可以先CMP再开窗。这是标准的后道工艺。

刻蚀的孔大概30-50个um,深度在4-5个um
5楼2015-10-26 16:54:29
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

这个可以找给你们做器件的单位追加工一下。
6楼2015-10-27 09:37:03
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wmchpu

金虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by reninhat at 2015-10-27 09:37:03
这个可以找给你们做器件的单位追加工一下。

在国内某代工厂走的MPW,追加工不太好做,所以现在找单独能做这方面刻蚀的。您有了解么?
7楼2015-10-27 14:46:28
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

片子都划开了,更不好做
8楼2015-10-27 17:42:17
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

看器件的钝化层是什么材料的,多厚,器件多大,哪个区域想刻薄,办法肯定是有的。
可以给我发信息,估计我能做。
9楼2015-10-27 19:36:10
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wmchpu

金虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by yswyx at 2015-10-27 19:36:10
看器件的钝化层是什么材料的,多厚,器件多大,哪个区域想刻薄,办法肯定是有的。
可以给我发信息,估计我能做。

钝化层是oxide和SiN,介质层是TEOS,需要刻蚀掉4-5um左右深,主要是器件ACTIVE区上方的都要刻蚀掉,每个ACTIVE区大概30-50um。
10楼2015-10-27 21:18:36
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