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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 国内有哪些地发可以做钝化层或介质层的刻蚀？
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wmchpu

金虫 (小有名气)

[求助] 国内有哪些地发可以做钝化层或介质层的刻蚀？ 已有2人参与

已经流片回来的芯片，光电器件，钝化层和介质层较厚，影响性能，想要刻蚀掉钝化层和介质层，请问国内有哪些地方可以做这种刻蚀呢？
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1楼 2015-10-24 14:46:12
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wmchpu

金虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by yswyx at 2015-10-27 19:36:10
看器件的钝化层是什么材料的，多厚，器件多大，哪个区域想刻薄，办法肯定是有的。
可以给我发信息，估计我能做。

钝化层是oxide和SiN，介质层是TEOS，需要刻蚀掉4-5um左右深，主要是器件ACTIVE区上方的都要刻蚀掉，每个ACTIVE区大概30-50um。
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10楼2015-10-27 21:18:36
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
腐蚀不好控制，这个需要CMP吧
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2楼2015-10-25 07:49:46
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wmchpu

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2015-10-25 07:49:46
腐蚀不好控制，这个需要CMP吧

不是刻蚀所有的钝化层和介质层，是只刻蚀掉一部分器件上方的，这样的话CMP没法做吧？
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3楼2015-10-26 09:29:21
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

腐蚀很深的孔，不是很好控制，侧壁和底部都容易出问题。如果钝化层不需要那么厚，可以先CMP再开窗。这是标准的后道工艺。
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4楼2015-10-26 12:48:24
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