应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 国内有哪些地发可以做钝化层或介质层的刻蚀？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
151/2返回列表12下一页
查看: 1599  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

wmchpu

金虫 (小有名气)

[求助] 国内有哪些地发可以做钝化层或介质层的刻蚀？ 已有2人参与

已经流片回来的芯片，光电器件，钝化层和介质层较厚，影响性能，想要刻蚀掉钝化层和介质层，请问国内有哪些地方可以做这种刻蚀呢？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-10-24 14:46:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
腐蚀不好控制，这个需要CMP吧
赞一下 回复此楼
2楼2015-10-25 07:49:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wmchpu

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2015-10-25 07:49:46
腐蚀不好控制，这个需要CMP吧

不是刻蚀所有的钝化层和介质层，是只刻蚀掉一部分器件上方的，这样的话CMP没法做吧？
赞一下 回复此楼
3楼2015-10-26 09:29:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

腐蚀很深的孔，不是很好控制，侧壁和底部都容易出问题。如果钝化层不需要那么厚，可以先CMP再开窗。这是标准的后道工艺。
赞一下 回复此楼
4楼2015-10-26 12:48:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wmchpu

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by reninhat at 2015-10-26 12:48:24
腐蚀很深的孔，不是很好控制，侧壁和底部都容易出问题。如果钝化层不需要那么厚，可以先CMP再开窗。这是标准的后道工艺。

刻蚀的孔大概30-50个um，深度在4-5个um
赞一下 回复此楼
5楼2015-10-26 16:54:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
这个可以找给你们做器件的单位追加工一下。
赞一下 回复此楼
6楼2015-10-27 09:37:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wmchpu

金虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by reninhat at 2015-10-27 09:37:03
这个可以找给你们做器件的单位追加工一下。

在国内某代工厂走的MPW，追加工不太好做，所以现在找单独能做这方面刻蚀的。您有了解么？
赞一下 回复此楼
7楼2015-10-27 14:46:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
片子都划开了，更不好做
赞一下 回复此楼
8楼2015-10-27 17:42:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

看器件的钝化层是什么材料的，多厚，器件多大，哪个区域想刻薄，办法肯定是有的。
可以给我发信息，估计我能做。
赞一下 回复此楼
9楼2015-10-27 19:36:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wmchpu

金虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by yswyx at 2015-10-27 19:36:10
看器件的钝化层是什么材料的，多厚，器件多大，哪个区域想刻薄，办法肯定是有的。
可以给我发信息，估计我能做。

钝化层是oxide和SiN，介质层是TEOS，需要刻蚀掉4-5um左右深，主要是器件ACTIVE区上方的都要刻蚀掉，每个ACTIVE区大概30-50um。
赞一下 回复此楼
10楼2015-10-27 21:18:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wmchpu 的主题更新
151/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 数一英一271专硕（085401）求调剂，可跨 +7 前行必有光 2026-03-28 8/400 2026-03-28 23:22 by 小木虫tim
[考研] 本科新能源科学与工程，一志愿华理能动285求调剂 +7 AZMK 2026-03-28 11/550 2026-03-28 21:01 by xxxsssccc
[考研] 275求调剂 +10 Micky11223 2026-03-25 14/700 2026-03-28 15:48 by Micky11223
[考研] 一志愿中南大学化学0703总分337求调剂 +5 niko- 2026-03-27 5/250 2026-03-28 14:25 by 唐沐儿
[考研] 求调剂 +6 芦lty 2026-03-25 7/350 2026-03-28 13:13 by 唐沐儿
[考研] 311求调剂 +9 lin0039 2026-03-26 9/450 2026-03-28 13:05 by 唐沐儿
[考研] 266分，求材料冶金能源化工等调剂 +7 哇呼哼呼哼 2026-03-27 9/450 2026-03-28 12:22 by zllcz
[考研] 【求调剂】085601材料工程专硕 | 总分272 | +6 脚滑的守法公民 2026-03-27 6/300 2026-03-28 11:02 by gjlllb
[考研] 340求调剂 +5 jhx777 2026-03-27 5/250 2026-03-28 04:18 by fmesaito
[考研] 085701环境工程求调剂 +9 多久上课 2026-03-27 9/450 2026-03-28 03:58 by fmesaito
[考研] 272求调剂 +7 脚滑的守法公民 2026-03-27 7/350 2026-03-27 17:23 by laoshidan
[考研] 材料与化工085600，总分304，本科有两篇sci参与，求调剂 +10 幸运的酱酱 2026-03-22 12/600 2026-03-27 16:08 by muchong357
[考研] 安徽大学专硕生物与医药专业(086000)324分，英语已过四六级，六级521，求调剂 +4 美味可乐鸡翅 2026-03-26 4/200 2026-03-27 15:27 by 星空星月
[考研] 085600材料与化工调剂 +10 A-哆啦Z梦 2026-03-23 16/800 2026-03-27 15:13 by caszguilin
[考研] 一志愿华东理工大学081700，初试分数271 +6 kotoko_ik 2026-03-23 7/350 2026-03-27 12:29 by 惠州彭于晏
[考研] 总分293求调剂 +6 加一一九 2026-03-25 8/400 2026-03-26 13:30 by yujianx
[考研] 一志愿哈工大，085400，320，求调剂 +4 gdlf9999 2026-03-24 4/200 2026-03-25 23:01 by boxking200
[考研] 调剂 +4 13853210211 2026-03-24 4/200 2026-03-24 19:44 by ms629
[考研] 接收2026硕士调剂(学硕+专硕) +4 allen-yin 2026-03-23 6/300 2026-03-23 15:04 by 汪！？！
[考研] 石河子大学（211、双一流）硕博研究生长期招生公告 +3 李子目 2026-03-22 3/150 2026-03-22 21:01 by 怎么释怀
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭