24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1600  |  回复: 14
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

wmchpu

金虫 (小有名气)

[求助] 国内有哪些地发可以做钝化层或介质层的刻蚀? 已有2人参与

已经流片回来的芯片,光电器件,钝化层和介质层较厚,影响性能,想要刻蚀掉钝化层和介质层,请问国内有哪些地方可以做这种刻蚀呢?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

看器件的钝化层是什么材料的,多厚,器件多大,哪个区域想刻薄,办法肯定是有的。
可以给我发信息,估计我能做。
9楼2015-10-27 19:36:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
腐蚀不好控制,这个需要CMP吧
2楼2015-10-25 07:49:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wmchpu

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2015-10-25 07:49:46
腐蚀不好控制,这个需要CMP吧

不是刻蚀所有的钝化层和介质层,是只刻蚀掉一部分器件上方的,这样的话CMP没法做吧?
3楼2015-10-26 09:29:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

腐蚀很深的孔,不是很好控制,侧壁和底部都容易出问题。如果钝化层不需要那么厚,可以先CMP再开窗。这是标准的后道工艺。
4楼2015-10-26 12:48:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿哈尔滨工业大学材料与化工方向336分 +9 辰沐5211314 2026-03-26 9/450 2026-03-29 01:12 by 我是小康
[硕博家园] 求调剂 有机化学考研356分 +3 Nadiums 2026-03-25 4/200 2026-03-29 00:50 by 544594351
[考研] 070300化学354求调剂 +3 101次希望 2026-03-28 3/150 2026-03-29 00:28 by 544594351
[考研] 一志愿厦门大学化学学硕307求调剂 +10 y7czhao 2026-03-26 10/500 2026-03-28 14:23 by 唐沐儿
[考研] 346求调剂 一志愿070303有机化学 +3 萝卜炖青菜 2026-03-28 3/150 2026-03-28 14:11 by 唐沐儿
[考研] 求调剂 +8 张zz111 2026-03-27 9/450 2026-03-28 03:41 by fmesaito
[考研] 07化学280分求调剂 +10 722865 2026-03-23 10/500 2026-03-27 15:51 by Plutoqq
[考研] 求调剂 +6 林之夕 2026-03-24 6/300 2026-03-27 08:38 by hypershenger
[考研] 343求调剂 +4 赠我一本书 2026-03-23 4/200 2026-03-27 00:40 by wxiongid
[考研] 341求调剂 +7 青柠檬1 2026-03-26 7/350 2026-03-27 00:19 by wxiongid
[考研] 349求调剂 +4 李木子啊哈哈 2026-03-25 4/200 2026-03-26 22:49 by fmesaito
[考研] 085602 289分求调剂 +8 WWW西西弗斯 2026-03-24 8/400 2026-03-26 16:33 by 不吃魚的貓
[考研] 289求调剂 +17 硕星赴 2026-03-23 17/850 2026-03-26 16:18 by 不吃魚的貓
[考研] 297求调剂 +6 田洪有 2026-03-26 6/300 2026-03-26 15:55 by 不吃魚的貓
[考研] 081700 调剂 267分 +11 迷人的哈哈 2026-03-23 11/550 2026-03-26 15:41 by zzll406
[考研] 285求调剂 +3 AZMK 2026-03-24 3/150 2026-03-25 12:23 by userper
[考研] 材料调剂 +3 iwinso 2026-03-23 3/150 2026-03-25 11:29 by greychen00
[考研] 一志愿北化315 求调剂 +3 akrrain 2026-03-24 3/150 2026-03-24 19:35 by 了了了了。。
[考研] 求调剂一志愿武汉理工大学材料工程(085601) +5 WW.' 2026-03-23 7/350 2026-03-24 14:50 by sprinining
[考研] 277分求调剂,跨调材料 +3 考研调剂lxh 2026-03-24 3/150 2026-03-24 13:52 by JourneyLucky
信息提示
请填处理意见