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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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wmchpu

金虫 (小有名气)

[求助] 国内有哪些地发可以做钝化层或介质层的刻蚀? 已有2人参与

已经流片回来的芯片,光电器件,钝化层和介质层较厚,影响性能,想要刻蚀掉钝化层和介质层,请问国内有哪些地方可以做这种刻蚀呢?
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

腐蚀很深的孔,不是很好控制,侧壁和底部都容易出问题。如果钝化层不需要那么厚,可以先CMP再开窗。这是标准的后道工艺。
4楼2015-10-26 12:48:24
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
腐蚀不好控制,这个需要CMP吧
2楼2015-10-25 07:49:46
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wmchpu

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2015-10-25 07:49:46
腐蚀不好控制,这个需要CMP吧

不是刻蚀所有的钝化层和介质层,是只刻蚀掉一部分器件上方的,这样的话CMP没法做吧?
3楼2015-10-26 09:29:21
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wmchpu

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by reninhat at 2015-10-26 12:48:24
腐蚀很深的孔,不是很好控制,侧壁和底部都容易出问题。如果钝化层不需要那么厚,可以先CMP再开窗。这是标准的后道工艺。

刻蚀的孔大概30-50个um,深度在4-5个um
5楼2015-10-26 16:54:29
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