24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1606  |  回复: 14
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

wmchpu

金虫 (小有名气)

[求助] 国内有哪些地发可以做钝化层或介质层的刻蚀? 已有2人参与

已经流片回来的芯片,光电器件,钝化层和介质层较厚,影响性能,想要刻蚀掉钝化层和介质层,请问国内有哪些地方可以做这种刻蚀呢?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

腐蚀很深的孔,不是很好控制,侧壁和底部都容易出问题。如果钝化层不需要那么厚,可以先CMP再开窗。这是标准的后道工艺。
4楼2015-10-26 12:48:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
腐蚀不好控制,这个需要CMP吧
2楼2015-10-25 07:49:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wmchpu

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2015-10-25 07:49:46
腐蚀不好控制,这个需要CMP吧

不是刻蚀所有的钝化层和介质层,是只刻蚀掉一部分器件上方的,这样的话CMP没法做吧?
3楼2015-10-26 09:29:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wmchpu

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by reninhat at 2015-10-26 12:48:24
腐蚀很深的孔,不是很好控制,侧壁和底部都容易出问题。如果钝化层不需要那么厚,可以先CMP再开窗。这是标准的后道工艺。

刻蚀的孔大概30-50个um,深度在4-5个um
5楼2015-10-26 16:54:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 招收生物学/细胞生物学调剂 +4 IceGuo 2026-03-26 5/250 2026-03-29 01:25 by griffith2014
[硕博家园] 求调剂 330分 085600材料与化工 +3 gqhhh 2026-03-22 3/150 2026-03-29 00:52 by 544594351
[考研] 085600,专业课化工原理,321分求调剂 +4 大馋小子 2026-03-28 4/200 2026-03-29 00:32 by 544594351
[考研] 一志愿华北电力大学能动专硕,293,求调剂 +3 15537177284 2026-03-23 5/250 2026-03-28 16:11 by xxxsssccc
[考研] 312,生物学求调剂 +3 小译同学abc 2026-03-28 3/150 2026-03-28 15:32 by 落睿可思
[考研] 0703化学 +10 妮妮ninicgb 2026-03-27 10/500 2026-03-28 14:07 by 哒哒哒呱呱呱
[考研] 一志愿北京化工大学 070300 学硕 336分 求调剂 +9 vv迷 2026-03-22 9/450 2026-03-27 15:59 by 不吃魚的貓
[考研] 305求调剂 +5 哇卢卡库 2026-03-26 5/250 2026-03-27 14:01 by laoshidan
[论文投稿] Journal of Mechanical Science and Technology +3 Russ_ss 2026-03-25 5/250 2026-03-27 10:49 by 陆小果画大饼
[考研] 求调剂323材料与化工 +7 1124361 2026-03-24 7/350 2026-03-27 10:22 by wangjy2002
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +4 崔wj 2026-03-26 4/200 2026-03-27 08:04 by chemisry
[考研] 336材料求调剂 +7 陈滢莹 2026-03-26 9/450 2026-03-27 00:20 by wxiongid
[考研] 一志愿北化求调剂 +3 Jsman 2026-03-22 3/150 2026-03-26 21:06 by ajpv风雷
[考研] 321求调剂 +6 Ymlll 2026-03-24 6/300 2026-03-26 20:50 by 不吃魚的貓
[考研] 329求调剂 +5 1() 2026-03-22 5/250 2026-03-26 20:40 by fmesaito
[考研] 【双一流院校新能源、环境材料,材料加工与模拟招收大量调剂】 +4 Higraduate 2026-03-22 8/400 2026-03-26 20:34 by Higraduate
[考研] 352求调剂 +4 大米饭! 2026-03-22 4/200 2026-03-26 16:40 by 不吃魚的貓
[考研] 334分 一志愿武理 材料求调剂 +4 李李不服输 2026-03-26 4/200 2026-03-26 16:00 by 不吃魚的貓
[考研] 一志愿武理085500机械专业总分300求调剂 +3 an10101 2026-03-24 7/350 2026-03-25 00:00 by 山鬼0-
[考研] 284求调剂 +3 yanzhixue111 2026-03-23 6/300 2026-03-23 22:58 by pswait
信息提示
请填处理意见